公开(公告)号：CN102313755A

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：CN201110180956.0

申请日：2011-06-30

Applicant: FEI公司

Inventor： H.何 ,  A.福伊格特

IPC: G01N23/20 ,  G01N23/205

CPC classification number: H01J37/295 ,  G01N23/20058 ,  G01N2223/102 ,  G01N2223/309 ,  G01N2223/32 ,  G01N2223/3306 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/419 ,  G01N2223/612 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/2611

Abstract: 本发明涉及电子衍射断层照相的方法。本发明描述了一种用于透射电子显微镜中的电子衍射断层照相的方法。已知的方法涉及使用扫描透射电子显微镜，且使用用于STEM衍射的扫描束。本发明提出使用具有比晶体稍大的直径的固定束（200）形成衍射图案，其结果是可以使用没有STEM单元的TEM。在TEM模式中完成发现晶体。根据本发明的方法的优点是：可以使用没有扫描单元的TEM，且衍射体积不取决于晶体的取向，因为在获得衍射图案时整个晶体被照射。