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公开(公告)号：CN105103263B
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201480018726.6
申请日：2014-03-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/06 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/006 , H01J2237/182 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2802
Abstract: 具备：二次电子检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样(70)而发生的电子；监视器，其根据该检测器的输出，显示试样的二次电子像；气体导入装置(60)，其用于向试样(70)放出气体；以及气体控制装置(81)，其控制气体导入装置(60)的气体放出量，使得在该气体导入装置(60)的气体放出时，将设置了二次电子检测器的中间室内的真空度保持为不足设定值P1。由此，能够利用需要施加电压的检测器得到被置于气体环境中的试样的显微镜像。
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公开(公告)号：CN105531793B
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201480047309.4
申请日：2014-05-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , G01N23/04 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/10 , G01N23/20058 , G01N2223/418 , H01J37/04 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/1472 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/21 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，其特征在于，在通过关闭透射电子显微镜的物镜(5)，使电子束的交叉(11、13)与限制视场光阑(65)一致，并使第一成像透镜(61)的焦距变化，来进行试样的像观察模式与试样的衍射图案观察模式的切换的无透镜傅科法中，在第一成像透镜(61)的后段配置偏转器(81)，在确定成像光学系统的条件后能够固定照射光学系统(4)的条件。由此，在不安装磁屏蔽透镜的通常的通用型透射电子显微镜中，也能够对操作者没有负担地实施无透镜傅科法。
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公开(公告)号：CN103531427B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201310265180.1
申请日：2013-06-28
Applicant: FEI 公司
CPC classification number: H01J37/28 , B82Y35/00 , G01Q10/04 , H01J37/26 , H01J37/295 , H01J37/3056 , H01J2237/2067 , H01J2237/208 , H01J2237/226 , H01J2237/2442 , H01J2237/24455 , H01J2237/2447 , H01J2237/2611 , H01J2237/2614 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明涉及在粒子光学装置中准备和成像薄片的方法。本发明涉及一种通过使用粒子光学装置（100）来准备和成像样品（101）的方法，粒子光学装置（100）装备有电子柱（120）、离子束柱（140）、拍摄系统（110）、操纵器（160）。该方法包括下列步骤：根据第一电子图像导出样品的第一折叠写入图像；然后减薄样品，并且形成样品的第二折叠写入图像。在本发明的实施例中，被用于第二图像的种子图像是第一折叠写入图像。在另一个实施例中，第二折叠写入图像是在减薄期间的移除层的图像，在还有另一个实施例中，确定样品的内电势并且确定掺杂剂浓度。
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公开(公告)号：CN102313755A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110180956.0
申请日：2011-06-30
Applicant: FEI公司
IPC: G01N23/20 , G01N23/205
CPC classification number: H01J37/295 , G01N23/20058 , G01N2223/102 , G01N2223/309 , G01N2223/32 , G01N2223/3306 , G01N2223/418 , G01N2223/419 , G01N2223/612 , H01J37/265 , H01J2237/20207 , H01J2237/26 , H01J2237/2611
Abstract: 本发明涉及电子衍射断层照相的方法。本发明描述了一种用于透射电子显微镜中的电子衍射断层照相的方法。已知的方法涉及使用扫描透射电子显微镜，且使用用于STEM衍射的扫描束。本发明提出使用具有比晶体稍大的直径的固定束（200）形成衍射图案，其结果是可以使用没有STEM单元的TEM。在TEM模式中完成发现晶体。根据本发明的方法的优点是：可以使用没有扫描单元的TEM，且衍射体积不取决于晶体的取向，因为在获得衍射图案时整个晶体被照射。
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公开(公告)号：CN106663584A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580035457.9
申请日：2015-06-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/22 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/295 , H01J2237/20207 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明提供一种不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样的装置及方法。本发明中，基于显示在显示部(13)上的电子束衍射图案(22b)中的衍射斑点的亮度分布，设定以主斑点(23)位于圆周上的方式重叠显示的拟合用圆形图案(26)，并设定显示为以该显示的圆形图案(26)的中心位置(27)为起点且以位于圆形图案(26)的圆周上的主斑点(23)的位置为终点的矢量(28)，基于该显示的矢量(28)的方向及大小，执行晶体取向对准。由此，不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106356272A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201610847216.0
申请日：2016-09-23
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: H01J37/295
CPC classification number: H01J37/295
Abstract: 本发明提出了一种基于激光等离子体尾波场加速的飞秒电子衍射装置，该电子衍射装置由激光器、气体产生装置、微孔、磁透镜、样品架、探测系统、真空室、真空系统、五维调节系统等组成。其中激光器用于产生超短超强激光脉冲，气体产生装置用于产生高密度的气体靶，超短超强脉冲与气体靶相互作用会产生电子束，电子束通过微孔准直和磁透镜聚焦后与样品发生作用产生电子衍射图样并被探测系统收集。本发明装置的时间分辨能力可达10飞秒，在飞秒电子衍射实验中泵浦光与探测电子束具有很好的时间同步，且无需光电阴极、高压电极或微波源等组件，使装置更加简易和紧凑，可广泛应用于超快动力学过程的科学研究中。
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公开(公告)号：CN103620728B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201280031593.7
申请日：2012-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , H01J37/26
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J37/295 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明提供一种减少电子射线的阻断所导致的像信息的丢失的问题，并且改善了电位分布成为各向异性的问题的、用于电子显微镜的相位板。其具有连为一体的开口部(23)，在开口部配置从开口部的外廓部朝向开口部中心的多个电极(11)。各个电极(11)的剖面，采用隔着绝缘层(25)用由导体或者半导体构成的屏蔽层(26)覆盖由导体或者半导体构成的电压施加层(24)的构造。由此，构成能够减少电极(11)所导致的电子射线阻断，并且能够改善电位分布成为各向异性的问题的相位板。
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公开(公告)号：CN104733271A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201410785676.6
申请日：2014-12-18
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/244
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/265 , H01J37/295 , H01J2237/12 , H01J2237/14 , H01J2237/226 , H01J2237/24507 , H01J2237/2614 , H01J2237/2802 , H01J2237/2806
Abstract: 本发明公开了调查带电粒子射束的波阵面的方法。调查从源通过发光器被引导以便穿过样本平面并且降落到检测器上的带电粒子射束的波阵面的方法，检测器的输出与数学重建技术结合使用以便在沿着到检测器的波阵面路径的预先定义的位置处针对波阵面计算相位信息和振幅信息中的至少一个，在该方法中：-使所述射束穿过设置在所述样本平面和所述检测器之间的粒子光学透镜系统；-在从所述源到所述检测器的路径中的所选择位置处，调制器用于局部地产生波阵面的给定调制；-在一系列测量阶段中，采用不同的此类调制，并且在所述数学重建中共同地使用相关联的检测器输出。
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公开(公告)号：CN1336542A
公开(公告)日：2002-02-20
申请号：CN01117431.5
申请日：2001-04-28
Applicant: 北海道大学
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/295
Abstract: 组成电子自旋分析器的散射靶由散射靶固定件从由加速电极和电极支承件形成的空间的外部支承,所述散射靶固定件由导电材料制成。散射靶固定件由绝缘支承件绝缘支承,所述绝缘支承件由绝缘材料制成。此外,设置一个导引件,以便覆盖绝缘支承件的外围,用于导引散射靶,散射靶固定件和绝缘支承件。
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公开(公告)号：CN107481914A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201610404782.4
申请日：2016-06-08
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/295
CPC classification number: H01J37/295 , G01N23/20058 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/222 , H01J37/265 , H01J2237/0245 , H01J2237/063 , H01J2237/182 , H01J2237/1825 , H01J2237/20 , H01J2237/20228 , H01J2237/2447 , H01J37/261
Abstract: 本发明涉及一种透射型低能量电子显微系统，其包括：一真空腔体；一电子枪，用于发射的电子束；一衍射腔体；一成像装置；一样品支架，用于固定二维纳米材料样品，上述电子束可以从所述二维纳米材料样品透射之后形成进入所述衍射腔体内的透射电子束与衍射电子束，并在所述成像装置上成像；一芯柱；一抽真空装置；以及一控制电脑；其中，所述控制电脑还包括工作模式切换模块，所述工作模式切换模块可以实现大束斑的成像模式和小束斑的衍射模式之间切换；所述大束斑的成像模式为采用大于样品的电子束照射整个样品表面，并进行衍射成像；所述小束斑的衍射模式为采用小于样品的电子束照射样品的局部表面或扫描整个表面，并进行衍射成像。
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