公开(公告)号：CN103038856B

公开(公告)日：2015-10-07

申请号：CN201180039297.7

申请日：2011-08-10

Applicant: FEI公司

Inventor： E.克尼德勒 ,  J.H.奥尔洛夫

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/0535

Abstract: 公开了一种用于成像和处理目标的带电粒子束系统，包括带电粒子柱、二次粒子检测器、以及位于目标和检测器之间的二次粒子检测栅极组件。在一个实施例中，栅极组件包括多个栅极，每个具有独立偏压，其中，目标和栅极之间的电场可使用栅极电压调节以优化到达检测器的二次粒子的空间分布。由于检测器寿命由检测器上的接收最大剂量的区域处积聚的总剂量确定，通过使得进入检测器的剂量空间上更一致，可增加检测器寿命。具有径向电压梯度的单个电阻栅极组件可取代独立栅极。多个偏转电极可位于目标和栅极之间以增强电场的成形。

公开(公告)号：CN103038856A

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201180039297.7

申请日：2011-08-10

Applicant: FEI公司

Inventor： E.克尼德勒 ,  J.H.奥尔洛夫

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/0535

Abstract: 公开了一种用于成像和处理目标的带电粒子束系统，包括带电粒子柱、二次粒子检测器、以及位于目标和检测器之间的二次粒子检测栅极组件。在一个实施例中，栅极组件包括多个栅极，每个具有独立偏压，其中，目标和栅极之间的电场可使用栅极电压调节以优化到达检测器的二次粒子的空间分布。由于检测器寿命由检测器上的接收最大剂量的区域处积聚的总剂量确定，通过使得进入检测器的剂量空间上更一致，可增加检测器寿命。具有径向电压梯度的单个电阻栅极组件可取代独立栅极。多个偏转电极可位于目标和栅极之间以增强电场的成形。