公开(公告)号：CN101957327B

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201010229845.X

申请日：2010-07-13

Applicant: FEI公司

Inventor： B·H·弗雷塔格 ,  G·A·罗森萨尔 ,  D·W·小菲弗

IPC: G01N23/00 ,  G01N23/02

CPC classification number: G01N23/2251 ,  G01N2223/611 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2008

Abstract: 本发明涉及用于检查样品的方法。本发明描述一种在电子显微镜中检查样品的方法。样品支座500示出连接焊垫505、508与样品要被放置在其上的区域A的电极504、507。在把样品放置在样品支座上后，在样品上沉积导电图案，以便电压和电流可以被施加到样品的局部化的部分。在样品上施加图案可例如用束诱导沉积或喷墨印刷来完成。本发明还教导在样品中建立电子部件，诸如电阻器、电容器、电感器和有源元件诸如FET。

公开(公告)号：CN101957327A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN201010229845.X

申请日：2010-07-13

Applicant: FEI公司

Inventor： B·H·弗雷塔格 ,  G·A·罗森萨尔 ,  D·W·小菲弗

IPC: G01N23/00 ,  G01N23/02

CPC classification number: G01N23/2251 ,  G01N2223/611 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2008

Abstract: 本发明涉及用于检查样品的方法。本发明描述一种在电子显微镜中检查样品的方法。样品支座500示出连接焊垫505、508与样品要被放置在其上的区域A的电极504、507。在把样品放置在样品支座上后，在样品上沉积导电图案，以便电压和电流可以被施加到样品的局部化的部分。在样品上施加图案可例如用束诱导沉积或喷墨印刷来完成。本发明还教导在样品中建立电子部件，诸如电阻器、电容器、电感器和有源元件诸如FET。