公开(公告)号：CN105493225A

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201480046171.6

申请日：2014-05-19

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 长久保康平 ,  长冲功 ,  松本弘昭 ,  佐藤岳志

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/18

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N23/22 ,  G01N23/2204 ,  H01J37/18 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2806 ,  H01M8/04671

Abstract: 本发明的目的为将试样附近保持为大气压、且高效地检测二次电子。在带电粒子装置的试样室中，试样支架(4)具备用于将试样(20)附近控制为大气压环境的气体导入导管与气体排出用导管，在试样(20)的上部共用能检测带电粒子通路孔(18)与能检测从试样(20)产生的二次电子(15)的微小孔口(18)，具有通过使孔径比试样(20)上部的微小孔口(18)大，积极地进行气体导入时的排气的带电粒子通路孔(19)。

公开(公告)号：CN105103262A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201480019441.4

申请日：2014-03-05

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 河西晋佐 ,  大南佑介 ,  安岛雅彦 ,  铃木宏征

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/18

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/026 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2006

Abstract: 本发明的特征是在配置于非真空下的试料(6)与一次电子光学系统之间设有隔膜(10)的扫描电子显微镜中，具备过滤部件(200)，该过滤部件(200)至少在一次带电粒子束照射于试料的状态下配置在一次带电粒子束的路径上，使一次带电粒子束以及从试料得到的二次带电粒子透射或者通过，并且在隔膜破损了的情况下对飞散的飞散物的至少一部分进行遮蔽。由此，当在试料观察过程中隔膜损伤了的情况下，能够利用简单的结构没有时滞地防止因试料被吸入带电粒子光学镜筒内而产生的带电粒子光学系统、检测器的污染。

公开(公告)号：CN101545874A

公开(公告)日：2009-09-30

申请号：CN200910130281.1

申请日：2009-03-30

Applicant: FEI公司

Inventor： B·布伊塞

IPC: G01N23/22

CPC classification number: H01J37/023 ,  H01J37/16 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及用于在例如电子显微镜中使用的环境室。所述环境室具有孔口(15)，该孔口(15)用于使所述电子显微镜产生的束通过并到达位于所述环境室之内的样品(6)。根据本发明的环境室的特征在于，所述环境室(14)的一部分可使例如背散射电子或X射线之类的二次辐射透过。这使得能够通过置于环境室之外的探测器来探测这个辐射并且因而能够使所述室的结构更简单。

公开(公告)号：CN1511332A

公开(公告)日：2004-07-07

申请号：CN01819906.2

申请日：2001-11-30

Applicant: 耶德研究和发展有限公司 ,  EL-MUL技术有限公司

Inventor： 艾莎·摩西 ,  奥赖·济克 ,  斯蒂芬·蒂贝热

IPC: H01J37/256 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2807

Abstract: 一种适用于与扫描电子显微镜一起使用的腔室(34)。该腔室包括用隔膜(36)密封的至少一个孔。隔膜(36)适于承受真空，并是电子可穿透的，而且腔室(34)的内部与所述真空隔离。该腔室可用于使包括活性细胞的湿样品(32)能够在电子显微镜下被观察。

公开(公告)号：CN103348439B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201180067087.9

申请日：2011-11-02

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 细谷幸太郎 ,  大野正臣 ,  波多野治彦

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2003

Abstract: 不是环境控制式电子线装置，即使通常的电子线装置也能实现试样附近的局部低真空化与试样冷却，并且不对装置进行改造且不追加气缸等设备而只利用试样支架实现试样附近的局部低真空化与试样冷却。在能将成为气体源的物质收纳在内部的容器与在该容器的试样台下部具备贯通孔的试样支架上载置被观察试样，通过上述贯通孔将从上述容器蒸发或挥发的气体供给到上述被观察试样，在上述被观察试样的载置位置或试样附近形成局部的低真空状态。并且，利用在挥发时的气化热也能进行试样冷却。

公开(公告)号：CN104798172A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201380060806.3

申请日：2013-11-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  大岛卓 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/228 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2004 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明涉及的带电粒子束装置将从带电粒子束显微镜(601)发出的一次带电粒子束，照射于构成试样台(600)的至少一部分的发光部件(500)上配置的试样(6)，通过发光部件(500)检测透射或散射试样(6)内部的带电粒子，从而取得带电粒子显微镜图像，同时将试样(6)配置于试样台(600)的状态下利用光学显微镜(602)取得光学显微镜图像。

公开(公告)号：CN102867720B

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201110260001.6

申请日：2011-09-05

Applicant: 财团法人交大思源基金会

Inventor： 陈智 ,  杜经宁

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/2003

Abstract: 本发明是有关于一种电子显微镜样品盒，包括：一第一衬底、一第二衬底、及一金属黏着层。该第一衬底具有一第一表面、一第二表面、一第一凹槽、及一个或一个以上的第一导孔，该第一导孔贯穿第一衬底。该第二衬底具有一第三表面、一第四表面、及一第二凹槽。另外，该金属黏着层，设置于该第一衬底与该第二衬底间以形成一空间，使样品容置于其中，此外，本发明还包括一个或一个以上的栓塞，可以密封第一导孔，使本发明的样品盒密封并用电子显微镜实时观测。

公开(公告)号：CN103493171A

公开(公告)日：2014-01-01

申请号：CN201280019911.8

申请日：2012-04-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 矢口纪惠 ,  渡部明 ,  大南佑介

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2065

Abstract: 本发明的电子显微镜用试样保持装置（80），具有：通过对上部隔膜保持部（20）、试样保持板（30）以及下部隔膜保持部（40）的3个部件进行组装而形成的试样保持组件（10）；可更换地保持该试样保持组件的保持部（80A）。试样保持组件具有在上部隔膜保持部的隔膜（25）与下部隔膜保持部的隔膜（45）之间形成的小室（15）和与该小室连接的流路（49a），将在试样保持板的突起部（31）上安装的试样（61）配置于小室内地构成。上部隔膜保持部的隔膜、试样以及下部隔膜保持部的隔膜，沿着电子束的光轴（11）配置。由此，能够提供在气体、液体等特殊环境中的显微镜观察中，易于进行特定部位的观察，且不需要每次观察时都进行隔膜更换等作业的电子束显微镜用试样保持装置。

公开(公告)号：CN101461026B

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN200780020701.X

申请日：2007-04-26

Applicant: FEI公司

Inventor： J·A·H·W·G·珀素恩 ,  A·T·恩格伦 ,  S·利克特尼格 ,  P·H·J·范多伦

IPC: H01J37/28 ,  F16J15/50

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/185 ,  H01J37/20 ,  H01J37/21 ,  H01J37/226 ,  H01J37/244 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J37/302 ,  H01J2237/1405 ,  H01J2237/162 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2006

Abstract: 本发明涉及与包含真空室(11)的装置一起使用的滑动轴承，该滑动轴承包括：一侧与真空室接触的基板，该基板设有与所述真空室(11)连通的第一通孔(21)；第二板(30)，该第二板的一侧与基板20接触，该第二板设有第二通孔(31)；基板与第二板彼此面对的表面非常光滑以形成一个没有弹性的真空密封；基板(20)与第二板(30)能够在第一通孔与第二通孔没有重叠的第一相对位置及第一通孔与第二通孔重叠的第二相对位置之间滑动。其特征是：第二板(30)是柔性板，柔性板上在基板对面的表面用来密封杯体(50)，该杯体用于容纳标本(1)，基板上的第一通孔(21)具有一个面向柔性板(30)的带有可控制弯曲度的边缘，这个边缘弯曲度的形成使基板与柔性板之间的真空密封形成一个明确轮廓，及赫兹接触压力小于一个预定义的最大接触压力，选择所述预定义的最大接触压力可将粒子产生减至最低程度。

公开(公告)号：CN101957327A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN201010229845.X

申请日：2010-07-13

Applicant: FEI公司

Inventor： B·H·弗雷塔格 ,  G·A·罗森萨尔 ,  D·W·小菲弗

IPC: G01N23/00 ,  G01N23/02

CPC classification number: G01N23/2251 ,  G01N2223/611 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2008

Abstract: 本发明涉及用于检查样品的方法。本发明描述一种在电子显微镜中检查样品的方法。样品支座500示出连接焊垫505、508与样品要被放置在其上的区域A的电极504、507。在把样品放置在样品支座上后，在样品上沉积导电图案，以便电压和电流可以被施加到样品的局部化的部分。在样品上施加图案可例如用束诱导沉积或喷墨印刷来完成。本发明还教导在样品中建立电子部件，诸如电阻器、电容器、电感器和有源元件诸如FET。