公开(公告)号：CN106098518A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201610294324.X

申请日：2016-05-03

Applicant: FEI公司

Inventor： C.S.库伊曼 ,  J.S.法伯

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/29

Abstract: 本发明涉及使用定向波束信号分析的粒子大小的自适应扫描。提供了用于扫描显微镜的系统和方法以快速形成区域的部分图像。该方法包括执行区域的初始扫描以及使用初始扫描来识别表示在区域中的感兴趣的特征的区。然后，该方法执行表示感兴趣的结构的区的附加自适应扫描。这样的扫描通过执行与特征边缘交叉的局部扫描图案并指引局部扫描图案跟随特征边缘来使扫描波束的路径适合于跟随感兴趣的特征的边缘。

公开(公告)号：CN105588644A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201510768758.4

申请日：2015-11-12

Applicant: FEI公司

Inventor： J.S.法伯 ,  L.特马 ,  T.布内特 ,  L.诺瓦克

IPC: G01J5/02 ,  H01J37/26

Abstract: 本发明涉及一种使用带电粒子显微镜的方法，带电粒子显微镜被装配用于利用带电粒子（200）的初级束流检查安装在样品支持器（101）上的样品（100），带电粒子显微镜配备有用于检测响应于利用初级束流辐照样品而从样品发出的次级粒子的固态检测器（202），固态检测器在样品的直接光学视图中，方法包括在具有快速热学响应时间的加热器上提供样品，其特征在于方法包括使用固态检测器对样品和/或样品支持器的温度的非接触式测量。加热器（例如MEMS加热器）的加热可以是由激光器导致的非接触式加热、微波加热、感应或电子束流加热，或者可以由金属化加热轨迹导致。