公开(公告)号：CN107768223B

公开(公告)日：2021-11-09

申请号：CN201710556214.0

申请日：2017-07-10

Applicant: FEI 公司

Inventor： V.斯维达 ,  L.诺瓦克 ,  V.斯特帕内克 ,  P.保罗乌舍克

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明涉及与等离子清洁机一起使用的磁体。等离子体发生器位于真空室外侧并生成中性活性粒子和带电粒子。定位在等离子体发生器外侧的磁体使带电粒子偏转，从而防止其中的一些或全部进入真空室，由此防止在真空室中形成二次等离子体源，同时允许中性活性粒子进入真空室以减少污染物。

公开(公告)号：CN102543639A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110349835.4

申请日：2011-11-08

Applicant: FEI公司

Inventor： L.诺瓦克 ,  M.昂科夫斯基 ,  M.托思 ,  M.卡富列克 ,  W.帕克 ,  M.斯特劳 ,  M.埃默森

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  H01J37/02

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/18 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2445

Abstract: 本发明涉及用于带电粒子束系统的环境单元。一种用于带电粒子束系统的环境单元允许安装在X-Y镜台上的单元与聚焦镜筒的光轴之间的相对运动，从而消除了对单元内的子镜台的需要。诸如可缩回盖的柔性单元配置允许多种过程，包括束致和热致过程。在带电粒子束系统中且使用光电子的气体级联放大执行的光子产额光谱术允许分析单元中的材料并监视单元中的处理。还可以使用可缩回反射镜来执行发光分析。

公开(公告)号：CN105588644A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201510768758.4

申请日：2015-11-12

Applicant: FEI公司

Inventor： J.S.法伯 ,  L.特马 ,  T.布内特 ,  L.诺瓦克

IPC: G01J5/02 ,  H01J37/26

Abstract: 本发明涉及一种使用带电粒子显微镜的方法，带电粒子显微镜被装配用于利用带电粒子（200）的初级束流检查安装在样品支持器（101）上的样品（100），带电粒子显微镜配备有用于检测响应于利用初级束流辐照样品而从样品发出的次级粒子的固态检测器（202），固态检测器在样品的直接光学视图中，方法包括在具有快速热学响应时间的加热器上提供样品，其特征在于方法包括使用固态检测器对样品和/或样品支持器的温度的非接触式测量。加热器（例如MEMS加热器）的加热可以是由激光器导致的非接触式加热、微波加热、感应或电子束流加热，或者可以由金属化加热轨迹导致。