公开(公告)号：CN1716512B

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：CN200510067028.8

申请日：2005-04-21

Applicant: FEI公司

Inventor： B·布伊斯塞 ,  T·H·J·比斯乔普斯 ,  M·T·穆维塞

IPC: H01J37/14

CPC classification number: H01J37/143

Abstract: 本发明描述了一种粒子-光学装置，该装置配置成：在两个粒子-光学透镜系统(10、20)的辅助下聚焦带电粒子束(1)。透镜作用由磁场实现，该磁场由恒磁材料(13、23)产生。与装配有线圈的磁透镜相比，在磁透镜装配恒磁材料的情况下，不容易通过改变聚焦磁场来改变光焦度。在本发明的装置中，通过改变粒子束(1)穿过透镜系统(10、20)时具有的能量来改变透镜系统的光焦度。容易通过改变电源(14、24)的电压来实现这种情况。

公开(公告)号：CN1945338B

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN200610143158.X

申请日：2006-09-28

Applicant: FEI公司

Inventor： B·比杰斯 ,  M·T·穆维塞 ,  B·J·M·波曼斯 ,  H·N·斯凌格兰 ,  H·G·塔派尔

IPC: G01N35/02 ,  G01N1/28 ,  G01N13/10 ,  H01J37/18

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/18 ,  H01J37/226 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/20214

Abstract: 一种组合工具，包括对围绕可旋转的基板定位的样品进行显微处理的多个工具。基板上的样品座在该工具的工作区域之间转动样品。可滑动真空密封保持样品室中的真空，对要求真空的工具来说。

公开(公告)号：CN1716512A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200510067028.8

申请日：2005-04-21

Applicant: FEI公司

Inventor： B·布伊斯塞 ,  T·H·J·比斯乔普斯 ,  M·T·穆维塞

IPC: H01J37/14

CPC classification number: H01J37/143

Abstract: 本发明描述了一种粒子－光学装置，该装置配置成：在两个粒子－光学透镜系统(10、20)的辅助下聚焦带电粒子束(1)。透镜作用由磁场实现，该磁场由恒磁材料(13、23)产生。与装配有线圈的磁透镜相比，在磁透镜装配恒磁材料的情况下，不容易通过改变聚焦磁场来改变光焦度。在本发明的装置中，通过改变粒子束(1)穿过透镜系统(10、20)时具有的能量来改变透镜系统的光焦度。容易通过改变电源(14、24)的电压来实现这种情况。