公开(公告)号：CN102879407A

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：CN201210238629.0

申请日：2012-07-11

Applicant: FEI公司

Inventor： C.S.库伊曼 ,  S.R.M.施托克斯

IPC: G01N23/00

CPC classification number: G01N23/203 ,  G01N23/2206 ,  G01N23/2252 ,  G01N2223/402 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/616 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2611

Abstract: 本发明涉及多模态数据的聚类。对来自获取不同类型的信息的多个探测器的信息进行组合以比使用来自单个类型的探测器的单个类型信息可以确定的属性更高效地确定样本的一个或多个属性。在一些实施例中，同时从不同的探测器收集信息，这可以大大减少数据获取时间。在一些实施例中，例如，对来自于样本上不同的点的信息进行组合以创建根据第二探测器的如通过第一探测器确定的共同组成的区域的单个能谱，该样本上的不同点是基于与这些点相关的来自于一种类型探测器的信息和来自于第二类型的探测器的信息进行分组的。在一些实施例中，数据收集是自适应的，也就是说，在收集期间对数据进行分析以确定是否已经收集了用来在期望置信度的情况下确定期望属性的足够数据。