Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Kristallisationsanlage zur Herstellung von Kristallen durch gerichtete Erstarrung aus elektrisch leitenden Schmelzen, umfassend: • i. mindestens einen Tiegel (10) zur Aufnahme der Schmelze; • ii. ein Heizer-Magnet-Modul (20), mit ein oder mehreren Spulen (21) und dazugehörigen elektrischen Zuleitungen (200), wobei jedem Tiegel ein Heizer-Magnet-Modul zugeordnet ist; und • iii. eine Steuer- und Stromversorgungseinheit für das Heizer- Magnet-Modul (20). Das dem jeweiligen Tiegel zugeordnete Heizer-Magnet-Modul (20) ist derart angeordnet und elektrisch angesteuert, dass ein Lorentzkraftdichtefeld (40) erzeugbar ist, welches derart gerichtet ist, dass die resultierende Kraftwirkung, relativ zu einer geometrischen Mittelachse (50) des Tiegels (10), entgegen der Wachstumsrichtung nach außen wirkt. Ein weiterer Aspekt der Erfindung bildet ein Verfahren unter Verwendung erfindungsgemäßer Kristallisationsanlage, sowie ein Ingot, der mittels Verfahren und/oder Kristallisationsanlage herstellbar ist.
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Halbleitervorrichtung (300) mit einem Substrat (310) und einem aluminiumgalliumarsenidbasierten Halbleiterbauelement (320), wobei das Substrat (310) einkristallin ist, wobei das Substrat (310) einen Galliumindiumarsenid-Mischkristall mit der Summenformel Ga(1-x)In(x)As aufweist, wobei der Indiumanteil x zwischen 0,1 Prozent und 4 Prozent beträgt.
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Züchtung von Kristallen aus elektrisch leitenden Schmelzen, mindestens aufweisend einen in einer Züchtungskammer (10) angeordneten, eine Schmelze (11) enthaltenen Tiegel (12), eine den Tiegel (12) umgebende Heizeinrichtung (1), welche als Mehrspulenanordnung von übereinander angeordneten Spulen (1a, 1b, 1c) ausgeführt ist, wobei die Spulen (1a, 1b, 1c) stufenförmige oder stufenlose Spulenwindungen (9) aufweisen und an den Spulen (1a, 1b, 1c) Stromzuführungsschienen (2a, 2b, 2c, 2m) angebracht sind, die elektrisch mit einer außerhalb der Züchtungskammer (10) angeordneten Energieversorgungseinrichtung (13) verbunden sind. Es ist vorgesehen, dass die Heizeinrichtung (1) Stabilisierungselemente (3a), (3b), (3c), 3d) an den Spulenwindungen (9) aufweist und die Stromzuführungsschienen (2a), (2b), (2c), (2m) in Form eines Winkelteiles ausgestaltet sind.
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Kristallisationsanlage zur Herstellung eines Blocks aus einem Material, dessen Schmelze elektrisch leitend ist, sowie ein dazugehöriges Kristallisationsverfahren. Die Kristallisationsanlage umfasst dazu: -einen Container zur Aufnahme einer Schmelze des Materials; -ein Heizer-Magnet-Modul, das : a) einen unterhalb des Containers angeordneten Bodenheizer mit einer Vielzahl von in 3 oder mehr Heizer-Magnet-Segmenten angeordneten Heizer-Magnet-Spiralen umfasst, wobei die Heizer-Magnet-Segmente zusammengesetzt eine zum Beheizen des Containers und zur Erzeugung von magnetischen Feldern bereitstehende Grundfläche des Bodenheizers bilden, jedoch keinen gemeinsamen geometrischen Mittelpunkt in der Grundfläche des Bodenheizers besitzen; und/oder b) einen oberhalb des Containers angeordneten Deckenheizer mit einer Vielzahl von in 3 oder mehr Heizer-Magnet-Segmenten angeordneten Heizer-Magnet-Spiralen umfasst, wobei die Heizer-Magnet-Segmente zusammengesetzt eine zum Beheizen des Containers und zur Erzeugung von magnetischen Feldern bereitstehende Grundfläche des Deckenheizers bilden, jedoch keinen gemeinsamen geometrischen Mittelpunkt in der Grundfläche des Deckenheizers besitzen; und - eine Steuer- und Stromversorgungseinheit, mit der die Heizer-Magnet-Segmente separat mit einer vorgebbaren Stromstärke, Frequenz und Phasenverschiebung belegbar sind, wobei die Steuer-und Stromversorgungseinheit ausgelegt ist, wenigstens ein Karussell-Magnetfeld (KMF) durch sequentielle Belegung der Heizer- Magnet-Segmente mit einer vorgebbaren Stromstärke, Frequenz und Phasenverschiebung zu erzeugen, derart, dasseine Kristallisationsfront der Schmelze mit konvexer Kontur entsteht.
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Herstellung von Kristallen aus elektrisch leitenden Schmelzen, mindestens aufweisend einen in einer Züchtungskammer (1) angeordneten, eine Schmelze (2) enthaltenen Tiegel (3) mit einem Tiegelboden (3b), eine den Tiegel umgebende Heizeinrichtung (4), welche als Mehrspulenanordnung von über einander angeordneten Spulen (5), (6), (7) ausgeführt ist und zur gleichzeitigen Erzeugung eines magnetischen Wanderfeldes dient, wobei die Spulen elektrisch mit mindestens einer außerhalb der Züchtungskammer (1) angeordneten Energieversorgungseinrichtung (14) über durch die Züchtungskammer (1) geführte Spulenanschlüsse (10), (11), (12), (13), (14) elektrisch verbunden sind. Es ist vorgesehen, dass Windungen (8) der Mehrspulenanordnung einen Abstand (4a) von einer gedachten Tiegelmittelachse (3c) zum Innenrand (4c) der Windungen (8) aufweisen, der mindestens bei einer Windung (8) verschieden von den übrigen Windungen (8) bei gleichem oder verschiedenen Windungsquerschnitten (4b) ist. Weiterhin ist ein Verfahren zur Herstellung von Kristallen aus elektrisch leitenden Schmelzen vorgesehen.
Abstract:
The invention relates to a device for producing crystals from electroconductive melts, said device at least comprising a crucible (3) provided with a bottom (3b), containing a melt (2), and arranged in a growing chamber (1), and a heating device (4) surrounding the crucible and embodied as a multiple-coil arrangement of coils (5), (6), (7) arranged one above the other and used to simultaneously generate a magnetic gliding field. The coils are electrically connected to at least one energy supply device (14) outside the growing chamber (1) by means of coil connections (10), (11), (12), (13), (14) guided through the growing chamber (1). According to the invention, there is a gap (4a) between the inner edge of the windings (8) of the multiple-coil arrangement and an imaginary crucible central axis (3c), said gap being different from one winding (8) to the next (8), for the same or different winding cross-sections (4b). The invention also relates to a method for producing crystals from electroconductive melts.
Abstract:
The invention relates to a device for growing crystals from electroconductive melts, said device at least comprising a crucible (12) containing a melt (11) and arranged in a growing chamber (10), and a heating device (1) which surrounds the crucible (12) and is embodied as a multiple-coil arrangement consisting of coils (1a, 1b, 1c) arranged one above the other. Said coils (1a, 1b, 1c) comprise graduated or continuous coil windings (9) and feeder bars (2a, 2b, 2c, 2m) are applied to the coils (1a, 1 b, 1c), said bars being electrically connected to an energy supply device (13) arranged outside the growing chamber (10). According to the invention, the heating device (1) comprises stabilisation elements (3a), (3b), (3c), 3d) on the coil windings (9), and the feeder bars (2a), (2b), (2c), (2m) are formed as angular parts.
Abstract:
The invention relates to a device for growing crystals from electroconductive melts, said device at least comprising a crucible (12) containing a melt (11) and arranged in a growing chamber (10), and a heating device (1) which surrounds the crucible (12) and is embodied as a multiple-coil arrangement consisting of coils (1a, 1b, 1c) arranged one above the other. Said coils (1a, 1b, 1c) comprise graduated or continuous coil windings (9) and feeder bars (2a, 2b, 2c, 2m) are applied to the coils (1a, 1 b, 1c), said bars being electrically connected to an energy supply device (13) arranged outside the growing chamber (10). According to the invention, the heating device (1) comprises stabilisation elements (3a), (3b), (3c), 3d) on the coil windings (9), and the feeder bars (2a), (2b), (2c), (2m) are formed as angular parts.
Abstract:
The invention relates to a device for producing crystals from electroconductive melts, said device at least comprising a crucible (3) provided with a bottom (3b), containing a melt (2), and arranged in a growing chamber (1), and a heating device (4) surrounding the crucible and embodied as a multiple-coil arrangement of coils (5), (6), (7) arranged one above the other and used to simultaneously generate a magnetic gliding field. The coils are electrically connected to at least one energy supply device (14) outside the growing chamber (1) by means of coil connections (10), (11), (12), (13), (14) guided through the growing chamber (1). According to the invention, there is a gap (4a) between the inner edge of the windings (8) of the multiple-coil arrangement and an imaginary crucible central axis (3c), said gap being different from one winding (8) to the next (8), for the same or different winding cross-sections (4b). The invention also relates to a method for producing crystals from electroconductive melts.