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公开(公告)号：DE102010039365A1
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：DE102010039365
申请日：2010-08-16
Applicant: FORSCHUNGSVERBUND BERLIN EV
Inventor： GESCHE ROLAND DR , PORTEANU HORIA-EUGEN DR , KUEHN SILVIO DIPL ING
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Behandlung von Oberflächen eines Substrates durch ein Plasma. Sie umfasst eine Plasmaquelle, welche ausgebildet ist, ein Plasma zu erzeugen und in einen Plasmaraum mit einer entlang einer Hauptbewegungskomponente des Plasmas verlaufenden longitudinalen Plasmaausdehnung auszustoßen, eine wenigstens teilweise leitfähige erste Aufnahmevorrichtung, welche ausgebildet ist, ein erstes Werkstück aufzunehmen, und eine mit der ersten Aufnahmevorrichtung verbundenen Spannungsquelle, welche ausgebildet ist, eine erste Beschleunigungsspannung zu erzeugen und an die erste Aufnahmevorrichtung anzulegen. Die erste Aufnahmevorrichtung ist relativ zu der Plasmaquelle so angeordnet und ausgebildet, das erste Werkstück so zu platzieren, dass das Plasma bei Anlegen der ersten Beschleunigungsspannung das erste Werkstück erreicht.
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公开(公告)号：DE102010001395B4
公开(公告)日：2013-11-14
申请号：DE102010001395
申请日：2010-01-29
Applicant: FORSCHUNGSVERBUND BERLIN EV
Inventor： KUEHN SILVIO DIPL ING , GESCHE ROLAND DR , PORTEANU HORIA-EUGEN
IPC: H05H1/46
Abstract: Eine Plasmaquelle mit einem Oszillator, welcher ein aktives Element (1) und einen mit dem aktiven Element (1) verbundenen Resonator (2) besitzt, wobei der Resonator (2) einen Hohlkörper (6), einen Gaseinlass, einen an einem distalen Ende des Hohlkörpers (6) um eine Längsachse des Hohlkörpers (6) angeordneten Gasauslass und eine entlang der Längsachse des Hohlkörpers (6) angeordnete Spule (7) aufweist, wobei ein distales Ende der Spule (7) relativ zum Gasauslass so angeordnet ist, dass sich eine Plasmastrecke zwischen dem als eine erste Plasmaelektrode fungierenden distalen Ende der Spule (7) und dem als eine zweite Plasmaelektrode fungierenden Gasauslass des Hohlkörpers (6) ausbilden kann, wobei die Spule (7) an einem proximalen Ende des Hohlkörpers (6) aus dem Inneren des Hohlkörpers (6) durch eine elektrisch kontaktfreie Durchführung (16) herausgeführt ist und ein proximales Ende der Spule (7) den Hohlkörper (6) an dessen Außenseite kontaktiert, wobei die Spule (7) an einem zwischen dem proximalen Ende der Spule (7) und der Durchführung gelegenen ersten Kontaktbereich (18) mit einem ersten Tor des aktiven Elementes (1) gekoppelt ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Spule (7) eine effektive Länge von einem Viertel einer Wellenlänge bei einer Resonanzfrequenz des Resonators (2) aufweist, wobei die Spule (7) an einem zwischen dem proximalen Ende der Spule und der Durchführung gelegenen zweiten Kontaktbereich (17) mit einem zweiten Tor des aktiven Elementes (1) gekoppelt ist.
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公开(公告)号：DE102011017545A1
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：DE102011017545
申请日：2011-04-26
Applicant: FORSCHUNGSVERBUND BERLIN EV
Inventor： KUEHN SILVIO DIPL ING , GESCHE ROLAND DR
Abstract: Die Erfindung führt einen neuartigen Empfängerschaltkreis ein. Der Empfängerschaltkreis verfügt über einen Lokaloszillator (10), einen Quadraturmodulator (20), einen ersten Mischer (31) und einen zweiten Mischer (32). Dabei sind ein erster Eingang des Quadraturmodulators (20) mit einem zweiten Signaleingang des Empfängerschaltkreises und ein zweiter Eingang des Quadraturmodulators (20) mit dem Lokaloszillator (10) verbunden. Außerdem sind ein erster Eingang des ersten Mischers (31) mit einem ersten Signaleingang des Empfängerschaltkreises, ein zweiter Eingang des ersten Mischers (31) mit einem Ausgang des Quadraturmodulators (20) und ein Ausgang des ersten Mischers (31) mit einem ersten Signalausgang des Empfängerschaltkreises verbunden. Ein erster Eingang des zweiten Mischers (32) ist mit dem zweiten Signaleingang, ein zweiter Eingang des zweiten Mischers (32) mit dem Ausgang des Quadraturmodulators (20) und ein Ausgang des zweiten Mischers (32) mit einem zweiten Signalausgang des Empfängerschaltkreises verbunden.
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公开(公告)号：DE102010001395A1
公开(公告)日：2011-08-04
申请号：DE102010001395
申请日：2010-01-29
Applicant: FORSCHUNGSVERBUND BERLIN EV
Inventor： KUEHN SILVIO DIPL ING , GESCHE ROLAND DR , PORTEANU HORIA-EUGEN DR
IPC: H05H1/46
Abstract: Eine Plasmaquelle mit einem Oszillator, welcher ein aktives Element und einen mit dem aktiven Element verbundenen Resonator besitzt. Der Resonator weist einen Hohlkörper, einen Gaseinlass, einen an einem distalen Ende des Hohlkörpers um eine Längsachse des Hohlkörpers angeordneten Gasauslass und eine entlang der Längsachse des Hohlkörpers angeordnete Spule mit einer effektiven Länge von einem Viertel einer Wellenlänge bei einer Resonanzfrequenz des Resonators auf. Ein distales Ende der Spule ist relativ zum Gasauslass so angeordnet, dass sich eine Plasmastrecke zwischen dem als eine erste Plasmaelektrode fungierenden distalen Ende der Spule und dem als eine zweite Plasmaelektrode fungierenden Gasauslass des Hohlkörpers ausbilden kann. Die Spule ist an einem proximalen Ende des Hohlkörpers aus dem Inneren des Hohlkörpers durch eine elektrisch kontaktfreie Durchführung herausgeführt und ein proximales Ende der Spule kontaktiert den Hohlkörper an dessen Außenseite. Die Spule ist an einem zwischen dem proximalen Ende der Spule und der Durchführung gelegenen ersten Kontaktbereich mit einem ersten Tor des aktiven Elementes und an einem zwischen dem proximalen Ende der Spule und der Durchführung gelegenen zweiten Kontaktbereich mit einem zweiten Tor des aktiven Elementes gekoppelt.
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