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公开(公告)号：DE102010041061A1
公开(公告)日：2012-03-22
申请号：DE102010041061
申请日：2010-09-20
Applicant: FORSCHUNGSVERBUND BERLIN EV
Inventor： DROPKA NATASCHA DR , FRANK-ROTSCH CHRISTIANE DR , RUDOLPH PETER PROF , LANGE RALPH-PETER DIPL ING , REHSE UWE DIPL PHYS
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Kristallisationsanlage zur Herstellung eines Blocks aus einem Material, dessen Schmelze elektrisch leitend ist, sowie ein dazugehöriges Kristallisationsverfahren. Die Kristallisationsanlage umfasst dazu: – einen Container zur Aufnahme einer Schmelze des Materials; – ein Heizer-Magnet-Modul, das a) einen unterhalb des Containers angeordneten Bodenheizer mit einer Vielzahl von in 3 oder mehr Heizer-Magnet-Segmenten angeordneten Heizer-Magnet-Spiralen umfasst, wobei die Heizer-Magnet-Segmente zusammengesetzt eine zum Beheizen des Containers und zur Erzeugung von magnetischen Feldern bereitstehende Grundfläche des Bodenheizers bilden, jedoch keinen gemeinsamen geometrischen Mittelpunkt in der Grundfläche des Bodenheizers besitzen; und/oder b) einen oberhalb des Containers angeordneten Deckenheizer mit einer Vielzahl von in 3 oder mehr Heizer-Magnet-Segmenten angeordneten Heizer-Magnet-Spiralen umfasst, wobei die Heizer-Magnet-Segmente zusammengesetzt eine zum Beheizen des Containers und zur Erzeugung von magnetischen Feldern bereitstehende Grundfläche des Deckenheizers bilden, jedoch keinen gemeinsamen geometrischen Mittelpunkt in der Grundfläche des Deckenheizers besitzen; und – eine Steuer- und Stromversorgungseinheit, mit der die Heizer-Magnet-Segmente separat mit einer vorgebbaren Stromstärke, Frequenz und Phasenverschiebung belegbar sind, wobei die Steuer- und Stromversorgungseinheit ausgelegt ist, wenigstens ein Karussell-Magnetfeld (KMF) durch sequentielle Belegung der Heizer-Magnet-Segmente mit einer vorgebbaren Stromstärke, Frequenz und Phasenverschiebung zu erzeugen, derart, dass eine Kristallisationsfront der Schmelze mit konvexer Kontur entsteht.
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公开(公告)号：DE102010041061B4
公开(公告)日：2013-10-24
申请号：DE102010041061
申请日：2010-09-20
Applicant: FORSCHUNGSVERBUND BERLIN EV
Inventor： DROPKA NATASCHA DR , FRANK-ROTSCH CHRISTIANE DR , RUDOLPH PETER PROF , LANGE RALPH-PETER DIPL ING , REHSE UWE DIPL PHYS
Abstract: Kristallisationsanlage zur Herstellung eines Blocks aus einem Material, dessen Schmelze elektrisch leitend ist, umfassend: – einen Container (8) zur Aufnahme einer Schmelze (10) des Materials; – ein Heizer-Magnet-Modul, das a) einen unterhalb des Containers (8) angeordneten Bodenheizer mit einer Vielzahl von in 3 oder mehr Heizer-Magnet-Segmenten (1...4) angeordneten Heizer-Magnet-Spiralen umfasst, wobei die Heizer-Magnet-Segmente (1...4) zusammengesetzt eine zum Beheizen des Containers (8) und zur Erzeugung von magnetischen Feldern bereitstehende Grundfläche des Bodenheizers bilden, jedoch keinen gemeinsamen geometrischen Mittelpunkt in der Grundfläche des Bodenheizers besitzen; und/oder b) einen oberhalb des Containers (8) angeordneten Deckenheizer mit einer Vielzahl von in 3 oder mehr Heizer-Magnet-Segmenten (1...4) angeordneten Heizer-Magnet-Spiralen umfasst, wobei die Heizer-Magnet-Segmente (1...4) zusammengesetzt eine zum Beheizen des Containers (8) und zur Erzeugung von magnetischen Feldern bereitstehende Grundfläche des Deckenheizers bilden, jedoch keinen gemeinsamen geometrischen Mittelpunkt in der Grundfläche des Deckenheizers besitzen; und – eine Steuer- und Stromversorgungseinheit, mit der die Heizer-Magnet-Segmente (1...4) separat mit einer vorgebbaren Stromstärke, Frequenz und Phasenverschiebung belegbar sind, wobei die Steuer- und Stromversorgungseinheit ausgelegt ist, wenigstens ein Karussell-Magnetfeld (KMF) durch sequentielle Belegung der Heizer-Magnet-Segmente (1...4) mit einer vorgebbaren Stromstärke, Frequenz und Phasenverschiebung zu erzeugen, derart, dass eine Kristallisationsfront der Schmelze (10) mit konvexer Kontur entsteht.
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公开(公告)号：DE102009045680B4
公开(公告)日：2012-03-22
申请号：DE102009045680
申请日：2009-10-14
Applicant: FORSCHUNGSVERBUND BERLIN EV
Abstract: Vorrichtung zur Herstellung von Siliziumblöcken aus der Schmelze durch gerichtete Erstarrung, mindestens aufweisend eine Züchtungskammer (14), in der ein eine Schmelze (4) aufnehmbarer viereckiger Schmelzcontainer (1) angeordnet ist, der wenigstens von einer Mantelheizeinrichtung (2) und einer Deckenheizeinrichtung (3) umgeben ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Mantelheizeinrichtung (2) und die Deckenheizeinrichtung (3) jeweils als separat ansteuerbare Heizer-Magnet-Module zur Beheizung der Schmelze (4) und zur jeweils gleichzeitigen Erzeugung eines wandernden Magnetfeldes ausgebildet sind.
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