Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, and resist film and pattern forming method using the same
    4.
    发明专利
    Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, and resist film and pattern forming method using the same 有权
    丙烯酸类敏感性或辐射敏感性树脂组合物,耐蚀膜和使用其的图案形成方法

    公开(公告)号:JP2011253017A

    公开(公告)日:2011-12-15

    申请号:JP2010126352

    申请日:2010-06-01

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition with reduced blob defects, which is suitable for not only a normal dry process but for an immersion process, and to provide a resist film and a pattern forming method using the composition.SOLUTION: The actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition contains a fluorine-containing compound (A) that generates an acid by irradiation with actinic rays or radiation. The resin composition is characterized in that the acid has a polarity converting group and that the fluorine content of the fluorine-containing compound (A) is 20% or more with respect to the molecular weight of the fluorine-containing compound (A).

    Abstract translation: 要解决的问题:提供具有减少的斑点缺陷的光化射线敏感或辐射敏感性树脂组合物,其不仅适用于正常干法,而且适用于浸渍工艺,并且提供抗蚀剂膜和 图案形成方法。 光敏性或辐射敏感性树脂组合物含有通过用光化射线或辐射照射产生酸的含氟化合物(A)。 树脂组合物的特征在于,具有极性转换基,相对于含氟化合物(A)的分子量,含氟化合物(A)的氟含量为20%以上。 版权所有(C)2012,JPO&INPIT

    固体撮像素子及びその製造方法、赤外光カットフィルタ形成用硬化性組成物、カメラモジュール
    5.
    发明专利
    固体撮像素子及びその製造方法、赤外光カットフィルタ形成用硬化性組成物、カメラモジュール 有权
    固态成像元件,其制造方法,用于形成红外线切割过滤器的可固化组合物和相机模块

    公开(公告)号:JP2014199925A

    公开(公告)日:2014-10-23

    申请号:JP2014050452

    申请日:2014-03-13

    Inventor: TOMEBA HISAMITSU

    Abstract: 【課題】隣接する3原色の色フィルタの分光特性の劣化の発生が抑制される赤外光カットフィルタを備える固体撮像素子及びその製造方法、赤外光カットフィルタ形成用硬化性組成物、カメラモジュールを提供する。【解決手段】半導体基板と、半導体基板の受光面側に配列された複数の画素を構成する複数の光電変換素子と、複数の光電変換素子に対応させて、複数の光電変換素子のそれぞれの光入射側に配置されたフィルタ層とを有し、フィルタ層が、赤色の波長領域の光を透過する赤色カラーフィルタと、緑色の波長領域の光を透過する緑色カラーフィルタと、青色の波長領域の光を透過する青色カラーフィルタと、赤外光を遮断する赤外光カットフィルタとを少なくとも含み、赤外光カットフィルタが、赤色カラーフィルタ、緑色カラーフィルタ、及び青色カラーフィルタの少なくとも一つと隣接して配置される、固体撮像素子。【選択図】なし

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种固态成像元件,其具有抑制三原色相邻滤色器的光谱特性劣化的红外光截止滤光片,并提供其制造方法, 形成红外线截止滤光器和相机模块。固体摄像元件包括:半导体衬底; 多个光电转换元件,其构成配置在所述半导体基板的受光面侧的多个像素; 以及布置在所述多个光电转换元件的各个光入射侧的滤光层,以便对应于所述多个光电转换元件。 每个过滤层至少包括:红色滤色器,其传输红色波长区域中的光; 绿色滤色器,其在绿色波长区域中透射光; 蓝色滤色器,其在蓝色波长区域中透射光; 以及屏蔽红外线的红外线截止滤光片。 红外线截止滤光器被布置成与红色滤色器,绿色滤色器和蓝色滤色器中的至少一个相邻。

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