公开(公告)号：DE102007035839B4

公开(公告)日：2017-06-22

申请号：DE102007035839

申请日：2007-07-31

Applicant: GLOBALFOUNDRIES DRESDEN MOD 1 ,  GLOBALFOUNDRIES INC

Inventor： ZIMMERHACKL OLAF ,  HONOLD ALFRED ,  ROTHE JAN

IPC: B65G47/60

Abstract: Durch Bereitstellen eines Deckenpuffersystems zwischen einem automatisierten Transportsystem und einer Ladestationsanordnung einer Prozessanlage kann die Effizienz der entsprechenden Ladestationen deutlich verbessert werden, indem beispielsweise die Wartezeit für leere Behälter verringert wird, wodurch die Möglichkeit geschaffen wird, einen weiten Bereich von Betriebsszenarien im Vergleich zu konventionellen Strategien abzudecken. Beispielsweise kann für die gleiche Anzahl an Ladestationen das Deckenpuffersystem einen kontinuierlichen Betrieb aufrecht erhalten, selbst wenn kleine Losgrößen verwendet werden. Das Puffersystem umfasst einen speziellen Transportmechanismus zum direkten Bedienen der Ladestationen und der entsprechenden Speicherplätze, während entsprechende Transferplätze für eine direkte Wechselwirkung mit dem automatisierten Transportsystem sorgen.

公开(公告)号：DE102007035836B4

公开(公告)日：2017-01-26

申请号：DE102007035836

申请日：2007-07-31

Applicant: GLOBALFOUNDRIES DRESDEN MOD 1 ,  GLOBALFOUNDRIES INC

Inventor： ZIMMERHACKL OLAF ,  HONOLD ALFRED

IPC: B65G49/00

Abstract: Verfahren zum Austauschen von Transportbehältern zwischen einem automatisierten Transportsystem (270) und einer Prozessanlage (260a, 260b) einer Fertigungsumgebung (250), wobei das Verfahren umfasst: Zuführen eines ersten Substratbehälters (273) zu einem ersten Transferplatz (201a) eines zweidimensionalen Arrays aus Transferplätzen (201), wobei auf jeden der Transferplätze (201) von einem Fahrzeug (272) des automatisierten Transportsystems (270) zugegriffen wird; Überführen des ersten Substratbehälters (273) zu einer ersten von mehreren Ladestationen (LP1, LP2, LP3) der Prozessanlage (260a, 260b), wobei der erste Transferplatz (201a) vertikal über der ersten der mehreren Ladestationen (LP1, LP2, LP3) angeordnet ist; Überführen eines zweiten Substratbehälters (273) von einer zweiten der mehreren Ladestationen (LP1, LP2, LP3) zu dem ersten Transferplatz (201a) des zweidimensionalen Arrays; und Aufnehmen des zweiten Substratbehälters (273) von dem ersten Transferplatz (201a) mittels eines Fahrzeugs (272) des automatisierten Transportsystems (270).