公开(公告)号：DE102008021557B4

公开(公告)日：2011-07-28

申请号：DE102008021557

申请日：2008-04-30

Applicant: GLOBALFOUNDRIES INC

Inventor： GOOD RICHARD ,  PURDY MATTHEW

IPC: G07C3/14 ,  G06Q90/00

Abstract: Verfahren mit: Bestimmen einer ersten vorhergesagten Qualitätsverteilung für eine Gruppe aus Substraten vor dem Ausführen eines oder mehrerer Fertigungsprozesse in einer Fertigungsumgebung, wobei jedes Substrat mehrere Chip-Gebiete aufweist; Gewinnen von elektrischen Messdaten von einem oder mehreren ausgewählten Probensubstraten der Gruppe nach dem Abschluss des einen oder der mehreren Fertigungsprozesse; Bestimmen einer zweiten vorhergesagten Qualitätsverteilung auf der Grundlage der elektrischen Messdaten; Überwachen der Fertigungsumgebung im Hinblick auf das Auftreten einer Störung durch Bestimmen einer Abweichung zwischen der ersten und der zweiten vorhergesagten Qualitätsverteilung; und Aktualisieren der ersten Qualitätsverteilung unter Anwendung von Messdaten, die von mindestens einem der mehreren Fertigungsprozesse erhalten werden, vor dem Bestimmen der zweiten vorhergesagten Qualitätsverteilung, wobei Aktualisieren der ersten Qualitätsverteilung umfasst: Verwenden eines Modells, das die Messdaten mit einem vordefinierten Qualitätsstandard von Halbleiter-Bauelementen, die in den Chip-Gebieten ausgebildet sind, in Beziehung setzt.