公开(公告)号：DE102006051495B4

公开(公告)日：2017-11-02

申请号：DE102006051495

申请日：2006-10-31

Applicant: GLOBALFOUNDRIES INC

Inventor： STIRTON JAMES BROC ,  GOOD RICHARD

IPC: H01L21/66 ,  G05B19/418

Abstract: Verfahren mit: Erhalten eines ersten Auswahlregelsatzes zur Auswahl einer Teilmenge (201a) aus einer Gruppe von Substraten (201), wobei die Teilmenge (201a) in einem ersten Messprozess (230) einer Fertigungsumgebung (200), die ein erstes Prozessmodul (210) und ein zweites Prozessmodul (240) aufweist, zu bearbeiten sind, wobei der erste Messprozess (230) ein Prozessergebnis des ersten Prozessmoduls (210) für Substrate der ersten Teilmenge (201a) misst und der erste Auswahlregelsatz gewünschte Auswahlkriterien für das erste Prozessmodul (210) erfüllt; Messen der ersten Teilmenge (201a) in dem ersten Messprozess (230); Erhalten eines zweiten, speziell für eine Prozesssituation des zweiten Prozessmoduls (240) angepassten Auswahlregelsatzes für die Gruppe aus Substraten (201), die in einem zweiten Messprozess (250) zu bearbeiten sind, wobei der zweite Messprozess (250) ein Prozessergebnis des zweiten Prozessmoduls (240) zumindest auf der Grundlage der Teilmenge (201a) misst; Koordinieren des Bearbeitens der Teilmenge (201a) aus Substraten (201) in dem zweiten Prozessmodul (240) gemäß dem ersten und dem zweiten Auswahlregelsatz zur Verbesserung der Relevanz der entsprechend erzeugten Messdaten; und Ausführen von Messungen mit dem zweiten Messprozess (250) zumindest an der Teilmenge (201a) nach Bearbeitung der Gruppe aus Substraten in dem zweiten Prozessmodul.