公开(公告)号：WO1994011930A1

公开(公告)日：1994-05-26

申请号：PCT/US1993011091

申请日：1993-11-16

Applicant: GTE LABORATORIES INCORPORATED

Inventor： GTE LABORATORIES INCORPORATED ,  ROTHMAN, Mark, Alan ,  SHIEH, Chan-Long ,  ARMIENTO, Craig, Alfred ,  THOMPSON, John, Alvin ,  NEGRI, Alfred, Joseph

IPC: H01S03/025

CPC classification number: G02B6/4249 ,  G02B6/30 ,  G02B6/42 ,  H01S5/0203 ,  H01S5/026 ,  H01S5/0264 ,  H01S5/4025

Abstract: A heterostructure device includes a ridge-waveguide laser (11) monolithically integrated with a ridge-waveguide rear facet monitor [RFM] (12). An integral V-groove etched directly into the device substrate (10) enables passive alignment of an optical fiber (13) to the active region (11-1) of the laser (11). The laser and RFM facets were formed using an in-situ multistep reactive ion etch process.

Abstract translation: 异质结构装置包括与脊 - 波导后小面监视器[RFM]（12）单片集成的脊 - 波导激光器（11）。 直接蚀刻到器件衬底（10）中的整体V形槽使得光纤（13）能够被激活地对准激光器（11）的有源区域（11-1）。 使用原位多步反应离子蚀刻工艺形成激光器和RFM刻面。

公开(公告)号：EP0670084A1

公开(公告)日：1995-09-06

申请号：EP94901521.0

申请日：1993-11-16

Applicant: GTE LABORATORIES INCORPORATED

Inventor： ROTHMAN, Mark, Alan ,  SHIEH, Chan-Long ,  ARMIENTO, Craig, Alfred ,  THOMPSON, John, Alvin ,  NEGRI, Alfred, Joseph

IPC: G02B6 ,  H01S5

CPC classification number: G02B6/4249 ,  G02B6/30 ,  G02B6/42 ,  H01S5/0203 ,  H01S5/026 ,  H01S5/0264 ,  H01S5/4025

Abstract: A heterostructure device includes a ridge-waveguide laser (11) monolithically integrated with a ridge-waveguide rear facet monitor [RFM] (12). An integral V-groove etched directly into the device substrate (10) enables passive alignment of an optical fiber (13) to the active region (11-1) of the laser (11). The laser and RFM facets were formed using an in-situ multistep reactive ion etch process.

Abstract translation: 异质结构器件包括与脊形波导后面监测器[RFM]（12）单片集成的脊形波导激光器（11）。 直接蚀刻到器件衬底（10）中的整体V形槽允许光纤（13）被动对准到激光器（11）的有源区（11-1）。 激光和RFM刻面使用原位多步反应离子刻蚀工艺形成。