公开(公告)号：EP1821091B1

公开(公告)日：2011-03-16

申请号：EP06002983.2

申请日：2006-02-15

Applicant: Grundfos Management A/S

Inventor： Krog, Jens Peter ,  Eriksen, Gert Friis ,  Dyrbye, Karsten

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L19/147 ,  G01L9/0042 ,  G01L19/146

公开(公告)号：EP1821091A1

公开(公告)日：2007-08-22

申请号：EP06002983.2

申请日：2006-02-15

Applicant: Grundfos Management A/S

Inventor： Krog, Jens Peter ,  Eriksen, Gert Friis ,  Dyrbye, Karsten

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L19/147 ,  G01L9/0042 ,  G01L19/146

Abstract: Das Verfahren dient zur Herstellung von elektronischen Bauelementen, insbesondere von elektronischen Sensoren zur Druck- und Differenzdruckmessung. Es wird zunächst auf einem Wafer die Halbleiterstruktur der elektronischen Bauelemente erzeugt. Danach wird eine isolierende Oxidschicht aufgebracht. Nachfolgend wird eine schützende Metallschicht (6) aufgebracht, wobei die Metallschicht (6) abschnittsweise nur in den Bereichen des Wafers aufgebracht wird, in denen später keine Teilung, beispielsweise durch mechanisches Trennen erfolgt. Die so im Wafer gebildeten elektronischen Bauelemente werden dann zu Einzelelementen zerteilt (Fig. 3).

Abstract translation: 该方法包括在晶片上制造电子部件的半导体结构，然后施加绝缘氧化膜（5）和保护金属层（6）。 晶片在形成的电子部件中消散，特别是传感器。 金属层以部分或仅在晶片的区域中施加，其中稍后不会发生晶片的耗散，或者在稍后发生晶片的耗散的区域中，并且金属层在 耗散。 还包括一个独立的权利要求，用于形成压力或差压传感器的电子部件，该压力或差压传感器通过由晶片分离形成并具有金属保护层。

公开(公告)号：EP1967827B1

公开(公告)日：2018-06-06

申请号：EP07004568.7

申请日：2007-03-06

Applicant: Grundfos Management A/S

Inventor： Krog, Jens Peter ,  Jacobsen, Kjeld Winther

IPC: G01F1/32 ,  G01F15/14

CPC classification number: G01F1/3209 ,  G01F1/3218 ,  G01F15/14

公开(公告)号：EP1967827A1

公开(公告)日：2008-09-10

申请号：EP07004568.7

申请日：2007-03-06

Applicant: Grundfos Management A/S

Inventor： Krog, Jens Peter ,  Jacobsen, Kjeld Winther

IPC: G01F1/32 ,  G01F15/14

CPC classification number: G01F1/3209 ,  G01F1/3218 ,  G01F15/14

Abstract: Die Anordnung dient zur Erfassung der Strömungsgeschwindigkeit in einer Leitung und weist eine in einem Leitungsabschnitt (1) angeordnete Obstruktion (8) auf sowie in Strömungsrichtung (6) dahinter und mit Abstand dazu angeordnet einen Sensor (10). Im Bereich von Sensor (10) und Obstruktion (8) ist eine Hülse (5) mit vorgebestimmtem Innenquerschnitt vorgesehen.

Abstract translation: 该装置具有布置在线路部分（1）中的障碍物（8）和沿流动方向（6）布置的传感器。 在传感器和障碍物的区域中设置具有预定内部横截面的壳体（5）。 密封单元（9）设置在壳体的外侧和周围的线壁（4）之间。 壳体具有在距离障碍物一定距离处的流动方向上的入口区域（7），其中壳体由塑料注射成型形成。