公开(公告)号：DE112013002113B4

公开(公告)日：2019-03-21

申请号：DE112013002113

申请日：2013-04-18

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： MATSUMOTO NAOYA ,  INOUE TAKASHI ,  TAKIGUCHI YUU

IPC: G02B27/09 ,  G02B13/00

Abstract: Strahlformer (10A-10C) zur Anpassung eines Licht-Durchmessers von parallelem Licht, der umfasst:eine erste Objektiv-Einheit (12, 22, 30b), die einen räumlichen Lichtmodulator enthält;eine zweite Objektiv-Einheit (14, 24, 30c), die optisch mit der ersten Objektiv-Einheit (12, 22, 30b) gekoppelt ist und einen räumlichen Lichtmodulator enthält; sowie eine Steuereinheit (26), die Brennweiten der ersten Objektiv-Einheit (12, 22, 30b) und der zweiten Objektiv-Einheit (14, 24, 30c) steuert, wobeibei dem Strahlformer ein Abstand zwischen der ersten Objektiv-Einheit (12, 22, 30b) und der zweiten Objektiv-Einheit (14, 24, 30c) unveränderlich ist, undwobei die Steuereinheit (12, 22, 30b) die räumlichen Lichtmodulatoren jeweils mit einem Linsen-Muster versieht, um die Brennweiten der ersten Objektiv-Einheit (12, 22, 30b) sowie der zweiten Objektiv-Einheit so zu steuern, dass sich ein Licht-Durchmesser von in die erste Objektiv-Einheit (12, 22, 30b) eingeleitetem Licht und der Licht-Durchmesser von aus der zweiten Objektiv-Einheit ausgeleitetem Licht voneinander unterscheiden.

公开(公告)号：DE102007042945B4

公开(公告)日：2018-10-04

申请号：DE102007042945

申请日：2007-09-10

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： MATSUMOTO NAOYA ,  INOUE TAKASHI ,  FUKUCHI NORIHIRO ,  KOBAYASHI YUJI ,  HARA TSUTOMU

IPC: G02F1/133 ,  G02F1/00

Abstract: Phasenmodulationsvorrichtung, umfassend:einen eine Vielzahl von zweidimensional benachbart zueinander angeordnete Bildpunkte einschließenden Raumlichtmodulator, wobei jeder Bildpunkt bei einem Spannungswert innerhalb eines Betriebsspannungsbereichs antreibbar ist und imstande ist, ansprechend auf das Anlegen einer Treiberspannung einfallendes Licht einer Phasenmodulation zu unterziehen;eine Eingabewerteinstelleinheit, die einen Eingabewert für jeden Bildpunkt festlegt;eine Vielzahl von Sätzen von Referenzdaten, wobei jeder Satz von Referenzdaten mindestens einem Bildpunkt entspricht;eine Umwandlungseinheit, die einen für jeden Bildpunkt eingegebenen Eingabewert unter Bezugnahme auf den entsprechenden Satz von Referenzdaten in einen Steuerwert umwandelt; undeine Treibereinheit, die den Steuerwert in einen Spannungswert innerhalb eines innerhalb des Betriebsspannungsbereichs festgelegten Arbeitsspannungsbereichs umwandelt, wobei die Treibereinheit jeden Bildpunkt mit einer dem Spannungswert entsprechenden Treiberspannung antreibt;wobei jeder Satz von Referenzdaten eine Korrelation bildet zwischen einer Vielzahl von ersten Werten, von denen die Eingabewerte genommen werden und einer Vielzahl von zweiten Werten, von denen die Steuerwerte genommen werden, zum Sicherstellen, dass der Zusammenhang zwischen der Vielzahl von ersten Werten und den durch den mindestens einen Bildpunkt erzielten Phasenmodulationsbeträgen ein vorbeschriebener linearer Zusammenhang ist,wobei der Arbeitsspannungsbereich basierend auf spannungsabhängigen Phasenmodulationseigenschaften für mindestens einen Bildpunkt unter der Vielzahl von Bildpunkten festgelegt ist, undwobei die Eingabewerteinstelleinheit eine Summe durch Zusammenaddieren eines einen gewünschten Phasenbetrag angebenden Werts und eines einen spannungsabhängigen Verzerrungskalibrierungsbetrag angebenden Korrekturwerts für jeden Bildpunkt bestimmt und die Summe als den Eingabewert für den jeweiligen Bildpunkt festlegt.

公开(公告)号：ES2668971T3

公开(公告)日：2018-05-23

申请号：ES09809970

申请日：2009-08-27

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： ITO HARUYASU ,  MATSUMOTO NAOYA ,  INOUE TAKASHI

IPC: G02F1/01 ,  B23K26/06 ,  B23K26/073 ,  G02B5/32 ,  G02B13/00 ,  G02B27/00 ,  G11B7/1392 ,  H01S3/10

Abstract: Un método de corrección de aberraciones para un dispositivo de irradiación láser, que enfoca un haz láser en el interior de un medio transparente (60), incluyendo el dispositivo de irradiación láser un modulador de luz espacial (40) para modular la fase del haz láser y un medio de enfoque (50) para enfocar el haz láser desde el modulador de luz espacial (40) en una posición de procesamiento (D) en el interior del medio (60), comprendiendo el método: definir la posición de procesamiento (D) en el interior del medio (60); establecer una distancia relativa (f menos d) entre el medio (60) y el medio de enfoque (50) de manera que la posición de procesamiento (D) del haz láser se encuentre dentro de un intervalo n x d

公开(公告)号：DE112013002127B4

公开(公告)日：2018-03-29

申请号：DE112013002127

申请日：2013-04-18

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： MATSUMOTO NAOYA ,  INOUE TAKASHI ,  TAKIGUCHI YUU

IPC: G02B15/00

Abstract: Zoomobjektiv, das umfasst: eine erste Objektiv-Einheit (12, 22, 30b), die einen räumlichen Lichtmodulator oder ein Variofokus-Objektiv enthält; eine zweite Objektiv-Einheit (14, 24, 30c), die optisch zwischen die erste Objektiv-Einheit und die Fokusebene (F) des Zoomobjektivs gekoppelt ist und einen räumlichen Lichtmodulator oder ein Variofokus-Objektiv enthält; sowie eine Steuereinheit (16, 26), die Brennweiten der ersten Objektiv-Einheit (12, 22, 30b) und der zweiten Objektiv-Einheit (14, 24, 30c) steuert, wobei sowohl ein Abstand (L1) zwischen der ersten Objektiv-Einheit (12, 22, 30b) und der zweiten Objektiv-Einheit (14, 24, 30c) als auch ein Abstand (L2) zwischen der zweiten Objektiv-Einheit (14, 24, 30c) und der Fokusebene (F) unveränderlich sind und die Steuereinheit (16, 26) einen Vergrößerungsfaktor des Zoomobjektivs ändert, indem sie die Brennweiten der ersten Objektiv-Einheit (12, 22, 30b) und der zweiten Objektiv-Einheit (14, 24, 30c) ändert, wobei die erste Objektiv-Einheit (12, 22, 30b) oder/und die zweite Objektiv-Einheit (14, 24, 30c) einen räumlichen Lichtmodulator enthält/enthalten und die Steuereinheit (16, 26) den räumlichen Lichtmodulator mit einem Linsen-Muster versieht.

公开(公告)号：DE112009001295B4

公开(公告)日：2016-03-03

申请号：DE112009001295

申请日：2009-05-21

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： ANDO TARO ,  ITO HARUYASU ,  OHTAKE YOSHIYUKI ,  INOUE TAKASHI ,  MATSUMOTO NAOYA ,  FUKUCHI NORIHIRO

IPC: H01S3/082

Abstract: Laserlichtquelle (1–4), die umfasst: einen Hauptresonator, der derart konfiguriert ist, dass ein erster Reflexionsspiegel (11, 11A, 11B) und ein Ausgabespiegel (14) einander gegenüberliegend mit dazwischen einem Lasermedium (12) angeordnet sind, und einen externen Resonator, der derart konfiguriert ist, dass der Ausgabespiegel (14) und ein zweiter Reflexionsspiegel (17) einander gegenüberliegend angeordnet sind, wobei der externe Resonator über den Ausgabespiegel (14) optisch mit dem Hauptresonator gekoppelt ist, wobei der zweite Reflexionsspiegel (17) derart als räumlicher Lichtmodulator konfiguriert ist, dass er eine transversale Mode einstellt, indem er Amplituden- oder Phasenvariationen an entsprechenden Positionen in dem Querschnitt des Lichtstrahls einbringt, wenn das Licht reflektiert wird, und wobei die Laserlichtquelle (1–4) weiter umfasst: eine Antriebseinheit (51) zum Ansteuern des räumlichen Lichtmodulators des zweiten Reflexionsspiegels (17), und eine Steuereinheit (52) zur Steuerung der Amplituden- oder Phasenverteilung des Strahlprofils mittels der Antriebseinheit (51).

公开(公告)号：DE112013002095T5

公开(公告)日：2015-01-15

申请号：DE112013002095

申请日：2013-04-18

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： MATSUMOTO NAOYA ,  INOUE TAKASHI ,  TAKIGUCHI YUU

IPC: G02F1/01 ,  G02B26/06 ,  G02F1/13

Abstract: Eine Strahlformungsvorrichtung 10A enthält eine erste Phasenmodulations-Einheit 12, die einen SLM vom Phasenmodulations-Typ enthält und ein erstes Phasen-Muster zum Modulieren einer Phase von Eintritts-Licht P1 anzeigt, eine zweite Phasenmodulations-Einheit 14, die einen SLM vom Phasenmodulations-Typ enthält und optisch mit der ersten Phasenmodulations-Einheit 12 gekoppelt ist und ein zweites Phasen-Muster zum weiteren Modulieren einer Phase von durch die erste Phasenmodulations-Einheit 12 phasenmoduliertem Licht anzeigt, sowie eine Steuereinheit 16, die der ersten und der zweiten Phasenmodulations-Einheit 12 und 14 das erste bzw. zweite Phasen-Muster verleiht. Das erste und das zweite Phasen-Muster sind Phasen-Muster zum Annähern einer Intensitätsverteilung und einer Phasenverteilung von aus der zweiten Phasenmodulations-Einheit 14 austretendem Licht P3 an vorgegebene Verteilungen.

公开(公告)号：DE102007042945A1

公开(公告)日：2008-09-11

申请号：DE102007042945

申请日：2007-09-10

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： MATSUMOTO NAOYA ,  INOUE TAKASHI ,  FUKUCHI NORIHIRO ,  KOBAYASHI YUJI ,  HARA TSUTOMU

IPC: G02F1/133 ,  G02F1/00

Abstract: In an apparatus for modulating light, a spatial light modulator includes a plurality of pixels and configured to modulate input light in response to a drive voltage for each of the pixels. An input value setting unit is configured to set an input value for the each of pixels. The input value is a digital value, an entire gray level of the digital value is “N”, and “N” is a natural number. A converting unit is configured to convert the input value to a control value. A control value is a digital value, an entire gray level of the control value is “M”, and “M” is a natural number greater than “N”. A driving unit is configured to convert the control value to a voltage value and drive the each of the pixels in response to the drive voltage corresponding to the voltage value.

公开(公告)号：AU2003292594A1

公开(公告)日：2004-07-14

申请号：AU2003292594

申请日：2003-12-19

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： TAKAHASHI HIRONORI ,  INOUE TAKASHI ,  OHSUKA SHINJI ,  TSUCHIYA YUTAKA

IPC: G21K1/00 ,  G21G1/12 ,  H05H1/24 ,  H05H6/00

Abstract: The present invention relates to a high-speed particle generating method and so on for generating high-speed particles from a high-speed particle generating target by condensing a pulsed laser beam to a micro-spot on the surface of a high-speed particle generating target. The high-speed particle generating method is a method that generates high-speed particles by condensing a pulsed laser beam generated from a pulsed laser beam generator through an irradiation optical system at a predetermined condensing point, and irradiating the pulsed laser beam to the high-speed particle generating target that is set at the predetermined condensing point, the method including a first step of preparing a reference data, a second step of measuring the wave front of the pulsed laser beam, and a third step of compensating the wave front of the pulsed laser beam based on the reference data.

公开(公告)号：ES2805336T3

公开(公告)日：2021-02-11

申请号：ES16796372

申请日：2016-05-11

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： WATANABE KOYO ,  INOUE TAKASHI ,  TAKAHASHI KOJI

IPC: G02F1/01 ,  G02F1/13 ,  G02F1/133 ,  G05B15/02 ,  G06F17/14 ,  H01S3/00

Abstract: Un aparato de cálculo de patrón de modulación configurado para calcular un patrón de modulación presentado en un modulador de luz espacial (16) para modular al menos uno de un espectro de intensidad y un espectro de fase de luz de entrada para llevar una forma de onda de intensidad temporal de luz cerca de una forma de onda deseada, comprendiendo el aparato: una unidad de transformada de Fourier iterativa (22a, 23a), configurada para realizar una transformada de Fourier en una función de forma de onda en un dominio de frecuencia que incluye una función de espectro de intensidad (A0 k(ω)) y una función de espectro de fase (Ψ0 n(ω)), realiza una primera sustitución de una función de forma de onda de intensidad temporal basándose en la forma de onda deseada en un dominio de tiempo después de la transformada de Fourier y a continuación realiza una transformada de Fourier inversa, y realiza una segunda sustitución para restringir una función de espectro de la función de espectro de intensidad y la función de espectro de fase en el dominio de la frecuencia después de la transformada de Fourier inversa; y una unidad de cálculo de patrón de modulación (24) configurada para calcular el patrón de modulación basándose en la otra salida de función de espectro de la unidad de transformada de Fourier iterativa (22a, 23a), caracterizado por que la unidad de transformada de Fourier iterativa (22a, 23a) está configurada para realizar la primera sustitución usando un resultado de multiplicación de una función que representa la forma de onda deseada por un coeficiente (α), y el coeficiente (α) tiene un valor en el que una diferencia entre la función (α x Target0(t)) después de la multiplicación y la función de forma de onda de intensidad temporal (bn, k(t)) después de la transformada de Fourier es menor que una diferencia antes de la multiplicación del coeficiente (α).

公开(公告)号：DE112008000450B4

公开(公告)日：2020-10-15

申请号：DE112008000450

申请日：2008-02-21

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： ANDO TARO ,  OHTAKE YOSHIYUKI ,  MATSUMOTO NAOYA ,  INOUE TAKASHI ,  TOYODA HARUYOSHI ,  FUKUCHI NORIHIRO

IPC: H01S3/10 ,  B23K26/066 ,  G01J1/04 ,  G02B27/58 ,  H01S5/026 ,  H01S5/183

Abstract: Eine Lichtquellenvorrichtung 1 enthält eine Laserlichtquelle 10 und einen optischen Phasenmodulator 15 oder dergleichen. Der optische Phasenmodulator 15 empfängt kohärentes Licht, das von der Laserlichtquelle 10 ausgegeben und durch einen Strahlteiler 14 hindurchgelassen wird, führt Phasenmodulation des Lichtes entsprechend der Position in einem Strahlquerschnitt des Lichtes durch und gibt das phasenmodulierte Licht an den Strahlteiler 14 aus. Wenn (p+1) Bereiche, die durch p Kreislinien abgeteilt werden, die auf eine vorgegebene Position zentriert sind, in einem Strahlquerschnitt von in den optischen Phasenmodulator 15 eingegebenem Licht festgelegt werden und die radiale Breite des Bereiches umso breiter ist, je weiter Abtasteinheit zum abtastenden Bewegen außen sich jeder der (p+1) Bereiche befindet, ist das Maß an Phasenmodulation in jedem der (p+1) Bereiche konstant und die Maße an Phasenmodulation zwischen zwei aneinandergrenzenden Bereichen der (p+1) Bereiche unterscheiden sich um π voneinander.