Lichtquellenvorrichtung, Beobachtungsvorrichtung und Bearbeitungsvorrichtung

    公开(公告)号:DE112008000450B4

    公开(公告)日:2020-10-15

    申请号:DE112008000450

    申请日:2008-02-21

    Abstract: Eine Lichtquellenvorrichtung 1 enthält eine Laserlichtquelle 10 und einen optischen Phasenmodulator 15 oder dergleichen. Der optische Phasenmodulator 15 empfängt kohärentes Licht, das von der Laserlichtquelle 10 ausgegeben und durch einen Strahlteiler 14 hindurchgelassen wird, führt Phasenmodulation des Lichtes entsprechend der Position in einem Strahlquerschnitt des Lichtes durch und gibt das phasenmodulierte Licht an den Strahlteiler 14 aus. Wenn (p+1) Bereiche, die durch p Kreislinien abgeteilt werden, die auf eine vorgegebene Position zentriert sind, in einem Strahlquerschnitt von in den optischen Phasenmodulator 15 eingegebenem Licht festgelegt werden und die radiale Breite des Bereiches umso breiter ist, je weiter Abtasteinheit zum abtastenden Bewegen außen sich jeder der (p+1) Bereiche befindet, ist das Maß an Phasenmodulation in jedem der (p+1) Bereiche konstant und die Maße an Phasenmodulation zwischen zwei aneinandergrenzenden Bereichen der (p+1) Bereiche unterscheiden sich um π voneinander.

    Wellenformmessvorrichtung und Gepulstes-Licht-Erzeugungsvorrichtung

    公开(公告)号:DE112015001962T5

    公开(公告)日:2017-01-19

    申请号:DE112015001962

    申请日:2015-04-08

    Abstract: Eine Wellenform-Messvorrichtung enthält eine Eingangsspektrums-Erhaltungseinheit zum Erhalten eines Eingangsintensitätsspektrums, das ein Intensitätsspektrum von gepulstem Licht ist, ein optisches Element, in welches das gepulste Licht eingegeben wird und aus welchem Licht mit einem Intensitätsspektrum in Entsprechung zu einem Phasenspektrum des gepulsten Lichts ausgegeben wird, eine Ausgangsspektrums-Erhaltungseinheit zum Erhalten eines Ausgangsintensitätsspektrums, das ein Intensitätsspektrum des von dem optischen Element ausgegebenen Lichts ist, und eine Phasenspektrums-Bestimmungseinheit zum Bestimmen des Phasenspektrums des gepulsten Lichts durch das Vergleichen eines Ausgangsintensitätsspektrums, das berechnet wird, wenn angenommen wird, dass das gepulste Licht mit einem Eingangsintensitätsspektrum und einem virtuellen Phasenspektrum in das optische Element eingegeben wird, mit dem in der Ausgangsintensitätsspektrums-Erhaltungseinheit erhaltenen Ausgangsintensitätsspektrum. Die Phasenspektrums-Bestimmungseinheit setzt das virtuelle Phasenspektrum, indem sie das Steuerphasenspektrum verformt.

    Strahlaufweiter
    3.
    发明专利

    公开(公告)号:DE112013002113T5

    公开(公告)日:2015-01-22

    申请号:DE112013002113

    申请日:2013-04-18

    Abstract: Ein Strahlaufweiter 10 enthält eine erste Objektiv-Einheit 12, die einen SLM oder ein VFL enthält, eine zweite Objektiv-Einheit 14, die optisch mit der ersten Objektiv-Einheit 12 gekoppelt ist und einen SLM oder ein VFL enthält, sowie eine Steuereinheit 16, die Brennweiten der ersten und der zweiten Objektiv-Einheit 12 und 14 steuert. Ein Abstand zwischen der ersten und der zweiten Objektiv-Einheit 12 und 14 ist unveränderlich. Die Steuereinheit 16 steuert die Brennweiten der ersten und der zweiten Objektiv-Einheit 12 und 14 so, dass sich ein Licht-Durchmesser D1 von in die erste Objektiv-Einheit 12 eintretendem Licht und ein Licht-Durchmesser D2 von aus der zweiten Objektiv-Einheit 14 austretendem Licht voneinander unterscheiden. So wird ein Strahlaufweiter geschaffen, der einfach einzurichten ist und in der Lage ist, eine beim Andern eines Licht-Durchmessers erforderliche Zeit zu verkürzen.

    Räumlicher Lichtmodulator und Verfahren zur räumlichen Lichtmodulation

    公开(公告)号:DE112012000836T5

    公开(公告)日:2013-11-07

    申请号:DE112012000836

    申请日:2012-02-10

    Abstract: Eine Einrichtung zur räumlichen Lichtmodulation 1A beinhaltet eine Flüssigkristallschicht 12, die eine Phase einfallenden Lichts entsprechend einem Pegel eines angelegten elektrischen Feldes moduliert, einen Temperatursensor 17, der ein Temperatursignal Stemp erzeugt, bei dem es sich um ein Signal entsprechend einer Temperatur der Flüssigkristallschicht 12 handelt, eine Vielzahl von Bildpunktelektroden 13a, die für jeden einer Vielzahl von Bildpunkten bereitgestellt werden und eine Spannung zum Erzeugen des angelegten elektrischen Feldes an die Flüssigkristallschicht 12 anlegen, und eine Ansteuereinrichtung 20A, die eine Spannung für die Vielzahl von Bildpunktelektroden 13a bereitstellt. Die Ansteuereinrichtung 20A weist ein nicht-flüchtiges Speicherelement 23 auf, das im Voraus einen Koeffizienten α speichert, der in einer Funktion enthalten ist, die eine Korrelation zwischen einem Temperaturänderungsbetrag im Hinblick auf eine Bezugstemperatur T0 in der Flüssigkristallschicht 12 und einer Schwankung eines Betrags einer Phasenmodulation in der Flüssigkristallschicht 12 ausdrückt, und eine Berechnung zum Korrigieren eines Pegels einer Spannung unter Verwendung einer Temperatur durchführt, die durch das Temperatursignal Stemp und den Koeffizienten α angegeben wird. Dadurch ist es möglich, eine Einrichtung zur räumlichen Lichtmodulation und ein Verfahren zur räumlichen Lichtmodulation umzusetzen, bei denen es möglich ist, eine erforderliche Speicherkapazität zu verringern, wodurch ihre Herstellung vereinfacht wird, und es möglich ist, die Genauigkeit eines Werts einer angelegten Spannung im Hinblick auf einen erwünschten Phasenmodulationsbetrag zu verbessern.

    Photostimulationsvorrichtung und Photostimulationsverfahren

    公开(公告)号:DE112015002392T5

    公开(公告)日:2017-02-02

    申请号:DE112015002392

    申请日:2015-05-20

    Abstract: Eine Photostimulationsvorrichtung enthält eine Objektivlinse, die so angeordnet ist, dass sie einem biologischen Objekt zugewandt ist, eine Lichtquelle, die konfiguriert ist, um das Licht, das zu dem biologischen Objekt zu strahlen ist, über die Objektivlinse auszugeben, eine Formerfassungseinheit, die konfiguriert ist, um die Informationen über eine Form mit einem Brechungsindexunterschied in dem biologischen Objekt zu erfassen, eine Hologrammerzeugungseinheit, die konfiguriert ist, um Aberrationskorrekturhologrammdaten zum Korrigieren der Aberrationen aufgrund der Form mit dem Brechungsindexunterschied auf der Grundlage der durch die Formerfassungseinheit erfassten Informationen zu erzeugen, und einen räumlichen Lichtmodulator, auf dem ein auf den Aberrationskorrekturhologrammdaten basierendes Hologramm dargestellt wird und der das von der Lichtquelle ausgegebene Licht moduliert.

    Lichtmodulations-Steuerverfahren, Steuerprogramm, Steuervorrichtung und Laser-Bestrahlungsvorrichtung

    公开(公告)号:DE112012004512T5

    公开(公告)日:2014-09-25

    申请号:DE112012004512

    申请日:2012-10-23

    Abstract: Bei der Steuerung von Lichtkondensationsbestrahlung von Laserlicht unter Verwendung eines räumlichen Lichtmodulators werden die Anzahl von Wellenlängen des Laserlichts, ein Wert jeder Wellenlänge und Einfallsbedingungen des Laserlichts erfasst (Schritt S101), die Anzahl der Lichtkondensationspunkte und eine Lichtkondensationsposition, eine Wellenlänge und eine Lichtkondensationsintensität auf jedem Lichtkondensationspunkt werden eingestellt (S104), und ein in einem optischen System, das den räumlichen Lichtmodulator enthält, für das Laserlicht vorzusehendes Verzerrungs-Phasenmuster wird für jeden Lichtkondensationspunkt abgeleitet (S107). Dann wird ein in dem räumlichen Lichtmodulator darzubietendes Modulationsmuster unter Berücksichtigung des Verzerrungs-Phasenmusters entworfen (S108). Weiter wird beim Entwurf eines Modulationsmusters ein Entwurfsverfahren verwendet, das sich auf einen Effekt durch einen Phasenwert eines Pixels richtet, und bei der Auswertung des Lichtkondensationszustands am Lichtkondensationspunkt wird eine Ausbreitungsfunktion verwendet, zu der ein Verzerrungs-Phasenmuster addiert wird. Dadurch sind ein Lichtmodulations-Steuerungsverfahren, ein Programm, eine Vorrichtung und eine Laserlicht-Bestrahlungsvorrichtung erreicht, die in der Lage sind, vorzugsweise Kondensationssteuerung von Laserlicht zu erreichen.

    Lichtmodulations-Steuerungsverfahren, Steuerprogramm, Steuervorrichtung und Laserstrahl-Bestrahlungsvorrichtung

    公开(公告)号:DE112012004479T5

    公开(公告)日:2014-08-14

    申请号:DE112012004479

    申请日:2012-10-23

    Abstract: Bei der Steuerung von Lichtkondensationsbestrahlung von Laserlicht unter Verwendung eines räumlichen Lichtmodulators werden die Anzahl von Wellenlängen des Laserlichts, ein Wert jeder Wellenlänge und Einfallsbedingungen des Laserlichts erfasst (Schritt S101), die Anzahl der Lichtkondensationspunkte und eine Lichtkondensationsposition, eine Wellenlänge und eine Lichtkondensationsintensität auf jedem Lichtkondensationspunkt werden eingestellt (S104), und ein Lichtkondensations-Steuerungsmuster, das für das Laserlicht vorzusehen ist, wird für jeden Lichtkondensationspunkt eingestellt (S107). Dann wird ein in dem räumlichen Lichtmodulator darzubietendes Modulationsmuster unter Berücksichtigung des Lichtkondensationssteuerungsmusters entworfen (S108). Weiter wird beim Entwurf eines Modulationsmusters ein Entwurfsverfahren verwendet, das sich auf einen Effekt durch einen Phasenwert eines Pixels richtet, und bei der Auswertung des Lichtkondensationszustands am Lichtkondensationspunkt wird eine Ausbreitungsfunktion verwendet, zu der ein Phasenmuster addiert wird, das entgegengesetzt zu dem Lichtkondensations-Steuerungsmuster ist. Dadurch sind ein Lichtmodulations-Steuerungsverfahren, ein Programm, eine Vorrichtung und eine Laserlicht-Bestrahlungsvorrichtung erreicht, die in der Lage sind, vorzugsweise Kondensationssteuerung von Laserlicht zu erreichen.

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