公开(公告)号：CZ202187A3

公开(公告)日：2021-05-05

申请号：CZ202187

申请日：2018-09-21

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： SEKIGUCHI YOSHIFUMI ,  IMAMURA SHIN ,  MIZUTANI SHUNSUKE ,  HOQUE SHAHEDUL ,  IKEDA UKI

IPC: H01J37/244

Abstract: Zařízení využívající svazky nabitých částic, jež používá světlovod (11), obsahuje detektor (16) obsahující scintilátor (10), který vyzáří světlo při dopadu nabité částice, prvek (12) pro přijímání světla, a světlovod (11), který vede světlo vytvořené ze scintilátoru (10) do prvku (12) pro přijímání světla. Světlovod (11) obsahuje dopadovou plochu (11a), směřující k ploše (10em) pro vyzařování světla scintilátoru (10), na níž dopadá světlo vyzařované scintilátorem (10), vyzařovací plochu (11b), směřující k prvku (12) pro přijímání světla a je nakonfigurovaná na vyzařování světla, a odraznou plochu (11c1), směřující k dopadové ploše (11a), která je nakloněná k dopadové ploše (11a) tak, aby se světlo dopadající z dopadové plochy (11a) odráželo směrem k vyzařovací ploše (11b). Vyzařovací plocha (11b) je menší než dopadová plocha (11a). Mezi dopadovou plochou (11a) a vyzařovací plochou (11b) je nakloněná plocha (11d), která směřuje k odrazné ploše (11c1), a je nakloněná vzhledem k dopadové ploše (11a).

公开(公告)号：DE112017006802B4

公开(公告)日：2021-03-25

申请号：DE112017006802

申请日：2017-03-24

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： MIZUTANI SHUNSUKE ,  HOQUE SHAHEDUL ,  IKEDA UKI ,  SUZUKI MAKOTO

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/141 ,  H01J37/28

Abstract: Ladungsteilchenstrahl-Vorrichtung, enthaltend:- eine Objektivlinse, welche dafür konfiguriert ist, aus einer Ladungsteilchenquelle emittierte Ladungsteilchenstrahlen zu konvergieren; undeinen Detektor, welcher dafür konfiguriert ist, aus einer Probe (8) reflektierte Elektronen zu erfassen, wobeidie Objektivlinse einen inneren magnetischen Pfad (7) und einen äußeren magnetischen Pfad (6) enthält, welche so gebildet sind, dass sie eine Spule (5) einschließen, der innere magnetische Pfad (7) einen ersten inneren magnetischen Pfad (905), welcher an einer einer optischen Achse (3) der Ladungsteilchenstrahlen gegenüberliegenden Position angeordnet ist, und einen zweiten inneren magnetischen Pfad, welcher mit einer Neigung bezüglich der optischen Achse (3) der Ladungsteilchenstrahlen gebildet ist und ein vorderes Ende des magnetischen Pfads enthält, enthält, und eine Erfassungsfläche des Detektors auf der Außenseite einer gedachten Geraden, welche durch das vordere Ende des magnetischen Pfads verläuft und parallel zu der optischen Achse (3) der Ladungsteilchenstrahlen liegt, angeordnet ist,dadurch gekennzeichnet, dassdie Erfassungsfläche eine Scheibenform hat, welche eine Öffnung enthält, durch welche die Ladungsteilchenstrahlen hindurchgehen, und eine Seitenfläche der Scheibe mit einem Umwandlungselement (12) versehen ist, welches dafür konfiguriert ist, durch die Erfassung der reflektierten Elektronen an der Erfassungsfläche erhaltenes Licht in ein elektrisches Signal umzuwandeln, wobei das Umwandlungselement (12) zwischen der gedachten Geraden und dem ersten inneren magnetischen Pfad (905) angeordnet ist.

公开(公告)号：CZ309373B6

公开(公告)日：2022-10-12

申请号：CZ20227

申请日：2018-09-21

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： SEKIGUCHI YOSHIFUMI ,  IMAMURA SHIN ,  MIZUTANI SHUNSUKE ,  HOQUE SHAHEDUL ,  IKEDA UKI

IPC: H01J37/244 ,  G02B6/42

Abstract: Zařízení používá světlovod (11), který dokáže vylepšit efektivitu využití světla. Zařízení obsahuje detektor (16) obsahující scintilátor (10) nakonfigurovaný tak, aby vyzářil světlo při dopadu nabité částice, prvek (12) pro přijímání světla, a světlovod (11) nakonfigurovaný tak, aby vedl světlo vytvořené ze scintilátoru (10) do prvku (12) pro přijímání světla. Světlovod (11) obsahuje dopadovou plochu (11a), která směřuje k ploše (10em) pro vyzařování světla scintilátoru (10) a na níž dopadá světlo vyzařované scintilátorem (10), vyzařovací plochu (11b), která směřuje k prvku (12) pro přijímání světla a je nakonfigurovaná na vyzařování světla, a odraznou plochu (11c1), která směřuje k dopadové ploše (11a) a je nakloněná vzhledem k dopadové ploše (11a) tak, aby se světlo dopadající z dopadové plochy (11a) odráželo směrem k vyzařovací ploše (11b). Vyzařovací plocha (11b) je menší než dopadová plocha (11a).

公开(公告)号：CZ309147B6

公开(公告)日：2022-03-09

申请号：CZ202187

申请日：2018-09-21

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： SEKIGUCHI YOSHIFUMI ,  IMAMURA SHIN ,  MIZUTANI SHUNSUKE ,  HOQUE SHAHEDUL ,  IKEDA UKI

IPC: H01J37/244 ,  G02B6/42

Abstract: Zařízení využívající svazky nabitých částic, jež používá světlovod (11), obsahuje detektor (16) obsahující scintilátor (10), který vyzáří světlo při dopadu nabité částice, prvek (12) pro přijímání světla, a světlovod (11), který vede světlo vytvořené ze scintilátoru (10) do prvku (12) pro přijímání světla. Světlovod (11) obsahuje dopadovou plochu (11a), směřující k ploše (10em) pro vyzařování světla scintilátoru (10), na níž dopadá světlo vyzařované scintilátorem (10), vyzařovací plochu (11b), směřující k prvku (12) pro přijímání světla a je nakonfigurovaná na vyzařování světla, a odraznou plochu (11c1), směřující k dopadové ploše (11a), která je nakloněná k dopadové ploše (11a) tak, aby se světlo dopadající z dopadové plochy (11a) odráželo směrem k vyzařovací ploše (11b). Vyzařovací plocha (11b) je menší než dopadová plocha (11a). Mezi dopadovou plochou (11a) a vyzařovací plochou (11b) je nakloněná plocha (11d), která směřuje k odrazné ploše (11c1), a je nakloněná vzhledem k dopadové ploše (11a).

公开(公告)号：DE112018007843T5

公开(公告)日：2021-04-01

申请号：DE112018007843

申请日：2018-09-21

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： SEKIGUCHI YOSHIFUMI ,  IMAMURA SHIN ,  MIZUTANI SHUNSUKE ,  HOQUE SHAHEDUL ,  IKEDA UKI

IPC: H01J37/244

Abstract: Es ist eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung vorgesehen, bei der ein Lichtleiter verwendet wird, wodurch der Lichtausnutzungsgrad verbessert werden kann. Die mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung weist einen Detektor 16, der einen Szintillator 10 aufweist, der dafür ausgelegt ist, Licht zu emittieren, wenn geladene Teilchen darauf fallen, ein Lichtempfangselement 12 und einen Lichtleiter 11, der dafür ausgelegt ist, das vom Szintillator 10 erzeugte Licht zum Lichtempfangselement 12 zu leiten, auf. Der Lichtleiter 11 weist Folgendes auf: eine Einfallsfläche 11a, die einer Lichtemissionsfläche des Szintillators 10 gegenübersteht und auf die das vom Szintillator 10 emittierte Licht fällt, eine Emissionsfläche 11b, die dem Lichtempfangselement 12 gegenübersteht und dafür ausgelegt ist, Licht zu emittieren, und eine Reflexionsfläche 11c1, die der Einfallsfläche 11a gegenübersteht und in Bezug auf die Einfallsfläche 11a geneigt ist, so dass das von der Einfallsfläche 11a einfallende Licht in Richtung der Emissionsfläche 11b reflektiert wird. Die Emissionsfläche 11b ist kleiner als die Einfallsfläche 11a. Eine Neigungsfläche 11d ist zwischen der Einfallsfläche 11a und der Emissionsfläche 11b bereitgestellt, steht der Reflexionsfläche 11c1 gegenüber und ist in Bezug auf die Einfallsfläche 11a geneigt.

公开(公告)号：DE112017006802T5

公开(公告)日：2019-10-10

申请号：DE112017006802

申请日：2017-03-24

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： MIZUTANI SHUNSUKE ,  HOQUE SHAHEDUL ,  IKEDA UKI ,  SUZUKI MAKOTO

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/141 ,  H01J37/28

Abstract: Der Zweck der vorliegenden Erfindung ist, eine Ladungsteilchenstrahl-Vorrichtung bereitzustellen, welche einen weiten Bereich von Erfassungswinkeln von aus einer Probe emittierten Ladungsteilchen abdeckt. Demgemäß schlägt die vorliegende Erfindung eine Ladungsteilchenstrahl-Vorrichtung vor, welche mit einer Objektivlinse zum Konvergieren von aus einer Ladungsteilchenquelle emittierten Ladungsteilchenstrahlen und einem Detektor zum Erfassen von aus einer Probe emittierten Ladungsteilchen ausgestattet ist, wobei: die Objektivlinse einen inneren magnetischen Pfad und einen äußeren magnetischen Pfad (6) enthält, welche so gebildet sind, dass sie eine Spule (5) einschließen; der innere magnetische Pfad einen an einer einer optischen Achse der Ladungsteilchenstrahlen gegenüberliegenden Position angeordneten ersten inneren magnetischen Pfad (905) und einen zweiten inneren magnetischen Pfad (7), welcher mit einer Neigung bezüglich der optischen Achse der Ladungsteilchenstrahlen gebildet ist und welcher ein vorderes Ende des magnetischen Pfads enthält, enthält; und eine Erfassungsfläche (10) des Detektors auf der Außenseite einer gedachten Geraden (901), welche durch das vordere Ende des magnetischen Pfads verläuft und welche parallel zu der optischen Achse der Ladungsteilchenstrahlen liegt, angeordnet ist.