公开(公告)号：CZ202187A3

公开(公告)日：2021-05-05

申请号：CZ202187

申请日：2018-09-21

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： SEKIGUCHI YOSHIFUMI ,  IMAMURA SHIN ,  MIZUTANI SHUNSUKE ,  HOQUE SHAHEDUL ,  IKEDA UKI

IPC: H01J37/244

Abstract: Zařízení využívající svazky nabitých částic, jež používá světlovod (11), obsahuje detektor (16) obsahující scintilátor (10), který vyzáří světlo při dopadu nabité částice, prvek (12) pro přijímání světla, a světlovod (11), který vede světlo vytvořené ze scintilátoru (10) do prvku (12) pro přijímání světla. Světlovod (11) obsahuje dopadovou plochu (11a), směřující k ploše (10em) pro vyzařování světla scintilátoru (10), na níž dopadá světlo vyzařované scintilátorem (10), vyzařovací plochu (11b), směřující k prvku (12) pro přijímání světla a je nakonfigurovaná na vyzařování světla, a odraznou plochu (11c1), směřující k dopadové ploše (11a), která je nakloněná k dopadové ploše (11a) tak, aby se světlo dopadající z dopadové plochy (11a) odráželo směrem k vyzařovací ploše (11b). Vyzařovací plocha (11b) je menší než dopadová plocha (11a). Mezi dopadovou plochou (11a) a vyzařovací plochou (11b) je nakloněná plocha (11d), která směřuje k odrazné ploše (11c1), a je nakloněná vzhledem k dopadové ploše (11a).

公开(公告)号：DE112017000260T5

公开(公告)日：2018-09-20

申请号：DE112017000260

申请日：2017-01-25

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： IMAMURA SHIN ,  OHSHIMA TAKASHI ,  TSUCHIYA TOMONOBU ,  KAWANO HAJIME ,  SUZUKI MAKOTO

IPC: H01J37/244 ,  G01T1/202

Abstract: Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, einen Ladungsteilchendetektor und eine Ladungsteilchenstrahlvorrichtung zu schaffen, mit denen es möglich ist, einen hoch leuchtenden Ausgang zu erlangen, während geladene Teilchen, die auf einen Szintillator einfallen, schnell beseitigt werden. Um die Aufgabe zu lösen, schlägt die vorliegende Erfindung Folgendes vor: einen Ladungsteilchendetektor, der mit einer lichtemittierenden Einheit (1) versehen ist, die eine geschichtete Struktur enthält, die durch Schichten einer Schicht (21), die GaInN enthält, und einer GaN-Schicht (22) erhalten wird und auf der Seite einer Einfallsfläche für geladene Teilchen der geschichteten Struktur mit einer leitfähigen Schicht (2) versehen ist, die sich mit der Schicht, die GaInN enthält, in Kontakt befindet; und eine Ladungsteilchenstrahlvorrichtung.

公开(公告)号：DE112020006990T5

公开(公告)日：2023-01-12

申请号：DE112020006990

申请日：2020-06-10

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： TAKAHASHI ERI ,  IMAMURA SHIN ,  SUZUKI MAKOTO ,  MIZUTANI SHUNSUKE

IPC: H01J37/244

Abstract: Die vorliegende Erfindung stellt zur Verfügung: einen Szintillator, der in der Intensität des Nachleuchtens reduziert ist, während er eine erhöhte Lichtstärke hat; und ein Gerät zur Bestrahlung geladener Teilchen. Ein Szintillator gemäß der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass: ein Basismaterial, eine Pufferschicht, ein lichtemittierendes Teil und eine erste leitende Schicht in dieser Reihenfolge aufeinander gestapelt sind; das lichtemittierende Teil ein oder mehrere Elemente enthält, die aus der Gruppe ausgewählt sind, die aus Ga, Zn, In, Al, Cd, Mg, Ca und Sr besteht; und eine zweite leitende Schicht zwischen dem Basismaterial und dem lichtemittierenden Teil vorgesehen ist.

公开(公告)号：DE112017001072B4

公开(公告)日：2022-03-17

申请号：DE112017001072

申请日：2017-02-03

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： SEKIGUCHI YOSHIFUMI ,  IMAMURA SHIN ,  KAWANO HAJIME ,  HOQUE SHAHEDUL

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: Lichtleiter (3), um Licht, das von einem Szintillator (5) erzeugt wird, zu einem Lichtempfangselement (4) zu leiten, wobei der Lichtleiter (3) umfasst:einen Szintillatoreinschlussabschnitt, der aus einer ersten Oberfläche (3a), die einer Oberfläche, die einer Einfallsfläche von Ladungsträgern des Szintillatörs (5) gegenüberliegt, zugewandt ist, und aus einer zweiten Oberfläche (3a1), die einer Oberfläche, die von der Oberfläche, die der Einfallsfläche von Ladungsträgern des Szintillators (5) gegenüberliegt, verschieden ist, zugewandt ist, gebildet ist; undeine geneigte Oberfläche (3a2), um Licht, das von der zweiten Oberfläche (3a1) einfällt, in das Innere des Lichtleiters (3) zu reflektieren, wobeider Lichtleiter (3) weiterhineinen gebogenen Abschnitt (3f), um Licht, das von der ersten Oberfläche (3a) und von der zweiten Oberfläche (3a1) einfällt, in verschiedene Richtungen zu leiten,eine Emissionsfläche (3d), die an einer dem Lichtempfangselement (4) zugewandten Stelle gebildet ist,einen linearen Abschnitt (3h), um Licht zu der Emissionsfläche (3d) zu leiten, undeinen geneigten Abschnitt (3g) umfasst, der zwischen dem linearen Abschnitt (3h) und dem gebogenen Abschnitt (3f) gebildet ist.

公开(公告)号：CZ309147B6

公开(公告)日：2022-03-09

申请号：CZ202187

申请日：2018-09-21

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： SEKIGUCHI YOSHIFUMI ,  IMAMURA SHIN ,  MIZUTANI SHUNSUKE ,  HOQUE SHAHEDUL ,  IKEDA UKI

IPC: H01J37/244 ,  G02B6/42

Abstract: Zařízení využívající svazky nabitých částic, jež používá světlovod (11), obsahuje detektor (16) obsahující scintilátor (10), který vyzáří světlo při dopadu nabité částice, prvek (12) pro přijímání světla, a světlovod (11), který vede světlo vytvořené ze scintilátoru (10) do prvku (12) pro přijímání světla. Světlovod (11) obsahuje dopadovou plochu (11a), směřující k ploše (10em) pro vyzařování světla scintilátoru (10), na níž dopadá světlo vyzařované scintilátorem (10), vyzařovací plochu (11b), směřující k prvku (12) pro přijímání světla a je nakonfigurovaná na vyzařování světla, a odraznou plochu (11c1), směřující k dopadové ploše (11a), která je nakloněná k dopadové ploše (11a) tak, aby se světlo dopadající z dopadové plochy (11a) odráželo směrem k vyzařovací ploše (11b). Vyzařovací plocha (11b) je menší než dopadová plocha (11a). Mezi dopadovou plochou (11a) a vyzařovací plochou (11b) je nakloněná plocha (11d), která směřuje k odrazné ploše (11c1), a je nakloněná vzhledem k dopadové ploše (11a).

公开(公告)号：DE112017000260B4

公开(公告)日：2022-01-27

申请号：DE112017000260

申请日：2017-01-25

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： IMAMURA SHIN ,  OHSHIMA TAKASHI ,  TSUCHIYA TOMONOBU ,  KAWANO HAJIME ,  SUZUKI MAKOTO

IPC: H01J37/244 ,  G01T1/202

Abstract: Ladungsteilchendetektor, der einen lichtemittierenden Abschnitt (1) enthält, der eine Schichtungsstruktur aufweist, in der eine Schicht (21), die GaInN enthält, und eine GaN-Schicht (22) geschichtet sind, wobei der Ladungsteilchendetektoreine leitfähige Schicht (2) umfasst, die sich mit der Schicht (21), die GaInN enthält, in Kontakt befindet und die auf einer Seite einer Einfallsfläche für geladene Teilchen der Schichtungsstruktur vorgesehen ist, undeine Anzahl der Schichten (21), die GaInN enthalten, in einem Bereich von 5 bis 25 liegt.

公开(公告)号：DE112018000236B4

公开(公告)日：2022-12-08

申请号：DE112018000236

申请日：2018-01-25

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： IMAMURA SHIN ,  OHSHIMA TAKASHI ,  TSUCHIYA TOMONOBU ,  KAWANO HAJIME ,  HOQUE SHAHEDUL ,  MIZUTANI SHUNSUKE ,  SUZUKI MAKOTO

IPC: H01J37/244 ,  G01N23/2258 ,  G01T1/20 ,  G21K4/00 ,  H01J37/28 ,  H01J49/02

Abstract: Ladungsträgerdetektor, der einen Ladungsträger detektiert, der durch Bestrahlen einer Probe (8) mit einem Ladungsträgerstrahl erhalten wird, wobei der Ladungsträgerdetektor Folgendes umfasst:einen ersten lichtemittierenden Teil (21), der eine Schicht ist, in der eine Quantentopfschicht mit einer Zusammensetzung von Ga1-x-yAlxlnyN wobei 0 ≤ x

公开(公告)号：CZ309373B6

公开(公告)日：2022-10-12

申请号：CZ20227

申请日：2018-09-21

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： SEKIGUCHI YOSHIFUMI ,  IMAMURA SHIN ,  MIZUTANI SHUNSUKE ,  HOQUE SHAHEDUL ,  IKEDA UKI

IPC: H01J37/244 ,  G02B6/42

Abstract: Zařízení používá světlovod (11), který dokáže vylepšit efektivitu využití světla. Zařízení obsahuje detektor (16) obsahující scintilátor (10) nakonfigurovaný tak, aby vyzářil světlo při dopadu nabité částice, prvek (12) pro přijímání světla, a světlovod (11) nakonfigurovaný tak, aby vedl světlo vytvořené ze scintilátoru (10) do prvku (12) pro přijímání světla. Světlovod (11) obsahuje dopadovou plochu (11a), která směřuje k ploše (10em) pro vyzařování světla scintilátoru (10) a na níž dopadá světlo vyzařované scintilátorem (10), vyzařovací plochu (11b), která směřuje k prvku (12) pro přijímání světla a je nakonfigurovaná na vyzařování světla, a odraznou plochu (11c1), která směřuje k dopadové ploše (11a) a je nakloněná vzhledem k dopadové ploše (11a) tak, aby se světlo dopadající z dopadové plochy (11a) odráželo směrem k vyzařovací ploše (11b). Vyzařovací plocha (11b) je menší než dopadová plocha (11a).

公开(公告)号：DE112017001072T5

公开(公告)日：2018-12-20

申请号：DE112017001072

申请日：2017-02-03

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： SEKIGUCHI YOSHIFUMI ,  IMAMURA SHIN ,  KAWANO HAJIME ,  HOQUE SHAHEDUL

IPC: H01J37/244

Abstract: Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Schaffung eines Lichtleiters, der Licht, das durch einen Szintillator erzeugt wird, mit hoher Effizienz zu einem Lichtempfangselement leiten kann, eines Detektors und einer Ladungsträgerstrahlvorrichtung. Zur Lösung der Aufgabe schlägt die vorliegende Erfindung einen Lichtleiter (3) vor, der durch einen Szintillator erzeugtes Licht zu einem Lichtempfangselement leitet, wobei er mit einem Szintillatoreinschlussabschnitt, der aus einer ersten Oberfläche (3a), die einer Oberfläche (5c), die einer Einfallsfläche von Ladungsträgern des Szintillators (5) gegenüberliegt, zugewandt ist, und aus einer zweiten Oberfläche (3el), die einer Oberfläche (5d), die von der Oberfläche, die der Einfallsfläche von Ladungsträgern des Szintillators gegenüberliegt, verschieden ist, zugewandt ist, gebildet ist, und mit einer geneigten Oberfläche (3e2), die Licht, das von der zweiten Oberfläche auffällt, in das Innere des Lichtleiters reflektiert, versehen ist.

公开(公告)号：DE112020006001T5

公开(公告)日：2022-11-03

申请号：DE112020006001

申请日：2020-03-02

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： IWANAKA TAKUMU ,  SEKIGUCHI YOSHIFUMI ,  KUSUNOKI TOSHIAKI ,  IMAMURA SHIN ,  KAWANO HAJIME

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: Es werden ein Ladungsträgerdetektor und ein Strahlungsdetektor geschaffen, die ein Beobachtungsbild mit korrektem Kontrast ohne Sättigung auch dann erhalten können, wenn die Anzahl von Signalelektronen, die auf einen Detektor einfallen, aufgrund einer Erhöhung der Stromstärke eines Primärelektronenstrahls steigt. Der Ladungsträgerdetektor ist dadurch gekennzeichnet, dass er umfasst: einen Szintillator (109) mit einer Signalelektronendetektionsoberfläche (109a) zum Detektieren von Signalelektronen, die dann emittiert werden, wenn eine Probe mit Primärelektronen bestrahlt wird, und zum Umwandeln der Signalelektronen in Licht, einen Lichtdetektor (111) mit einer Lichtdetektionsoberfläche (111a) zum Detektieren des Lichts, das aus dem Szintillator (109) emittiert wird, und einen Lichtleiter (110), der zwischen dem Szintillator (109) und dem Lichtdetektor (111) angeordnet ist, wobei der Flächeninhalt der Lichtdetektionsoberfläche (111a) größer ist als der Flächeninhalt der Signalelektronendetektionsoberfläche (109a).