公开(公告)号：DE112018007498B4

公开(公告)日：2024-11-28

申请号：DE112018007498

申请日：2018-05-22

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： IMAI YUTA ,  SASAJIMA MASAHIRO ,  TAKAHOKO YOSHIHIRO

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/12 ,  H01J37/145 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: Ladungsträgerstrahlvorrichtung, die Folgendes umfasst:eine Elektronenquelle (2);eine Objektivlinse (4), die konfiguriert ist, einen Sondenelektronenstrahl von der Elektronenquelle (2) auf eine Probe (12) zu fokussieren;eine Beschleunigungselektrode (3), die konfiguriert ist, den Sondenelektronenstrahl zu beschleunigen;einen ersten Detektor (6), der in der Beschleunigungselektrode (3) vorgesehen ist;eine Verzögerungselektrode (5), die konfiguriert ist, ein elektrisches Verzögerungsfeld für den Sondenelektronenstrahl mit der Beschleunigungselektrode (3) zu bilden, wobei der Sondenelektronenstrahl konfiguriert ist, durch eine Öffnung der Verzögerungselektrode (5) zu verlaufen; undeinen zweiten Detektor (7), der zwischen der Verzögerungselektrode (5) und der Probe (12) eingesetzt ist, wobeider zweite Detektor (7) einen Öffnungsabschnitt (9), der größer als die Öffnung der Verzögerungselektrode (5) ist, enthält und eine Erfassungsfläche (8) um den Öffnungsabschnitt (9) vorgesehen ist.

公开(公告)号：DE112016000644T5

公开(公告)日：2017-10-19

申请号：DE112016000644

申请日：2016-02-04

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： IMAI YUTA ,  MORISHITA HIDEO ,  AGEMURA TOSHIHIDE

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28

Abstract: Diese Verbundvorrichtung für geladene Partikelstrahlen umfasst eine erste Säule eines geladenen Partikelstrahls (6), eine zweite Säule eines geladenen Partikelstrahls (1), die mit einem Entschleunigungssystem vorgesehen ist und mit einem Detektor (3) innerhalb der Säule versehen ist, einen Probentisch (10), auf dem eine Probe (9) positioniert ist, und eine Elektrode zur Korrektur des elektrischen Felds (13), die um die Spitze der ersten Säule des geladenen Partikelstrahls vorgesehen ist, wobei die Elektrode zur Korrektur des elektrischen Felds eine Elektrode ist, die die in der Nähe der Probe gebildete Verteilung des elektrischen Felds korrigiert, und die Elektrode zur Korrektur des elektrischen Felds zwischen der Probe und der ersten Säule des geladenen Partikelstrahls und auf der gegenüberliegenden Seite von der zweiten Säule des geladenen Partikelstrahls bezüglich der optischen Achse der ersten Säule des geladenen Partikelstrahls positioniert ist.

公开(公告)号：DE112014002139B4

公开(公告)日：2017-05-04

申请号：DE112014002139

申请日：2014-04-14

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： IMAI YUTA ,  MORISHITA HIDEO ,  OHSHIMA TAKASHI

IPC: H01J37/073 ,  H01J27/26 ,  H01J37/06 ,  H01J37/063 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28

Abstract: Elektronenkanone, enthaltend: eine nadelartige Elektronenquelle (1), die als eine Feldemissions-Elektronenquelle wirkt; eine Beschleunigungselektrode (3) zur Beschleunigung der von der Elektronenquelle (1) emittierten Elektronen; eine Steuerelektrode (2), die näher an der Seite der Elektronenquelle (1) als an der Seite der Beschleunigungselektrode (3) angeordnet ist und einen größeren Öffnungsdurchmesser als ein Öffnungsdurchmesser der Beschleunigungselektrode (3) hat; und einen Steuerabschnitt (6) zur Steuerung eines an die Steuerelektrode (2) angelegten Potenzials auf der Grundlage eines an die Beschleunigungselektrode (3) angelegten Potenzials, dadurch gekennzeichnet, dass unter der Voraussetzung, dass der Öffnungsdurchmesser der Steuerelektrode (2) als d definiert ist und ein Abstand zwischen der Elektronenquelle (1) und der Beschleunigungselektrode (3) als L definiert ist, ein Verhältnis von d zu L von d/L

公开(公告)号：DE112018007506T5

公开(公告)日：2021-03-11

申请号：DE112018007506

申请日：2018-05-22

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： IMAI YUTA ,  SASAJIMA MASAHIRO ,  TAKAHOKO YOSHIHIRO

IPC: H01J37/15 ,  H01J37/12 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: Eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung wird geschaffen, in der eine Achseneinstellung als eine Überlagerungslinse durch Ausrichten einer Achse einer elektrostatischen Linse, die aus einem elektrischen Verzögerungsfeld resultiert, auf eine Achse einer Magnetfeldlinse ermöglicht wird. Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung enthält Folgendes: eine Elektronenquelle 2; eine Objektivlinse 4, die einen Sondenelektronenstrahl von der Elektronenquelle auf eine Probe fokussiert; eine erste Strahlröhre 8 und eine zweite Strahlröhre 9, durch die jeweils der Sondenelektronenstrahl verläuft; eine Verzögerungselektrode 10, die zwischen der ersten Strahlröhre 8 und einer Probe 12 angeordnet ist; eine erste Spannungsquelle 15, die ein elektrisches Verzögerungsfeld für den Sondenelektronenstrahl zwischen der ersten Strahlröhre 8 und der Verzögerungselektrode 10 durch Anlegen eines ersten Potentials an die erste Strahlröhre 8 bildet; und einen ersten Bewegungsmechanismus 11, der eine Position der ersten Strahlröhre 8 bewegt.

公开(公告)号：DE112018007534T5

公开(公告)日：2021-01-14

申请号：DE112018007534

申请日：2018-06-12

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： OOTSUGA KAZUO ,  IMAI YUTA ,  NOMAGUCHI TSUNENORI

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/22

Abstract: Eine Einrichtung für einen Strahl geladener Teilchen enthält: eine Quelle für einen Strahl geladener Teilchen, die dazu ausgebildet ist, einen Strahl geladener Teilchen, mit dem eine Probe bestrahlt wird, zu erzeugen; eine Detektionseinheit für geladene Teilchen, die dazu ausgebildet ist, ein geladenes Teilchen, das erzeugt wird, wenn die Probe mit dem Strahl geladener Teilchen bestrahlt wird, zu detektieren; eine Intensitätsdatenerzeugungseinheit, die dazu ausgebildet ist, Intensitätsdaten des durch die Detektionseinheit für geladene Teilchen detektierten geladenen Teilchens zu erzeugen; eine Pulshöhenwertdatenerzeugungseinheit, die dazu ausgebildet ist, Pulshöhenwertdaten des durch die Detektionseinheit für geladene Teilchen detektierten geladenen Teilchens zu erzeugen; und eine Ausgabeeinheit, die dazu ausgebildet ist, ein erstes Bild der Probe basierend auf den Intensitätsdaten und ein zweites Bild der Probe basierend auf den Pulshöhenwertdaten auszugeben.

公开(公告)号：DE112016000644B4

公开(公告)日：2021-04-01

申请号：DE112016000644

申请日：2016-02-04

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： IMAI YUTA ,  MORISHITA HIDEO ,  AGEMURA TOSHIHIDE

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28

Abstract: Verbundvorrichtung für geladene Partikelstrahlen mit:einem Probentisch (10), auf dem eine Probe (9) positioniert wird;einer Ionenstrahlsäule (6);einer Elektronenstrahlsäule (1), die ein optisches Entschleunigungssystem und einen Detektor (3) in einer Säule umfasst; undeiner Mehrzahl Elektroden (13) zur Korrektur des elektrischen Felds, die um einen Endabschnitt der Ionenstrahlsäule (6) herum und um eine optische Achse (17) der Ionenstrahlsäule (6) herum vorgesehen sind, und die eine um die Probe (9) gebildete Verteilung des elektrischen Feldes korrigieren,wobei die Elektroden (13) zur Korrektur des elektrischen Felds sich zwischen der Probe (9) und der Ionenstrahlsäule (6) und an einer gegenüberliegenden Seite der Elektronenstrahlsäule (1) bezüglich einer optischen Achse (17) der Ionenstrahlsäule (6) befinden.

公开(公告)号：DE112018007498T5

公开(公告)日：2021-01-07

申请号：DE112018007498

申请日：2018-05-22

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： IMAI YUTA ,  SASAJIMA MASAHIRO ,  TAKAHOKO YOSHIHIRO

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/145 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: In einer Ladungsträgerstrahlvorrichtung, die ein optisches Verzögerungssystem enthält, werden eine Änderung eines elektrischen Verzögerungsfelds und eine Achsenverschiebung aufgrund einer Struktur zwischen einer Objektivlinse und einer Probe verhindert, um nachteilige Wirkungen auf ein Bestrahlungssystem und ein Detektionssystem zu verringern. Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung enthält eine Elektronenquelle, eine Objektivlinse, die konfiguriert ist, einen Sondenelektronenstrahl von der Elektronenquelle auf die Probe zu fokussieren, eine Beschleunigungselektrode, die konfiguriert ist, den Sondenelektronenstrahl zu beschleunigen, einen ersten Detektor, der in der Beschleunigungselektrode vorgesehen ist, eine Verzögerungselektrode, die konfiguriert ist, ein elektrisches Verzögerungsfeld für den Sondenelektronenstrahl mit der Beschleunigungselektrode zu bilden, wobei der Sondenelektronenstrahl konfiguriert ist, durch eine Öffnung der Verzögerungselektrode zu verlaufen, und einen zweiten Detektor, der zwischen der Verzögerungselektrode und der Probe eingesetzt ist. Der zweite Detektor enthält einen Öffnungsabschnitt, der größer als die Öffnung der Verzögerungselektrode ist, und eine Erfassungsfläche, die um den Öffnungsabschnitt vorgesehen ist.

公开(公告)号：DE112014002139T5

公开(公告)日：2016-01-14

申请号：DE112014002139

申请日：2014-04-14

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： IMAI YUTA ,  MORISHITA HIDEO ,  OHSHIMA TAKASHI

IPC: H01J37/073 ,  H01J27/26 ,  H01J37/06 ,  H01J37/063 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28

Abstract: Zweck der vorliegenqden Erfindung ist es, eine Ladungsteilchenkanone bereitzustellen, die nur eine elektrostatische Linse verwendet, welche Ladungsteilchenkanone relativ klein ist und eine geringere Aberration hat, und eine Ladungsteilchenkanone des Feldemissionstyps bereitzustellen, die auch bei einem hohen Strom eine hohe Luminanz hat. Diese Ladungsteilchenkanone hat: eine Ladungsteilchenquelle; eine Beschleunigungselektrode, die von der Ladungsteilchenquelle emittierte geladene Teilchen beschleunigt; eine Steuerelektrode, die weiter zu der Seite der Ladungsteilchenquelle hin als die Beschleunigungselektrode angeordnet ist und die einen größeren Öffnungsdurchmesser als den Öffnungsdurchmesser der Beschleunigungselektrode hat; und einen Steuerabschnitt, der ein an die Steuerelektrode anzulegendes Potenzial auf der Grundlage eines an die Beschleunigungselektrode angelegten Potenzials steuert.