公开(公告)号：DE112018007506T5

公开(公告)日：2021-03-11

申请号：DE112018007506

申请日：2018-05-22

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： IMAI YUTA ,  SASAJIMA MASAHIRO ,  TAKAHOKO YOSHIHIRO

IPC: H01J37/15 ,  H01J37/12 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: Eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung wird geschaffen, in der eine Achseneinstellung als eine Überlagerungslinse durch Ausrichten einer Achse einer elektrostatischen Linse, die aus einem elektrischen Verzögerungsfeld resultiert, auf eine Achse einer Magnetfeldlinse ermöglicht wird. Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung enthält Folgendes: eine Elektronenquelle 2; eine Objektivlinse 4, die einen Sondenelektronenstrahl von der Elektronenquelle auf eine Probe fokussiert; eine erste Strahlröhre 8 und eine zweite Strahlröhre 9, durch die jeweils der Sondenelektronenstrahl verläuft; eine Verzögerungselektrode 10, die zwischen der ersten Strahlröhre 8 und einer Probe 12 angeordnet ist; eine erste Spannungsquelle 15, die ein elektrisches Verzögerungsfeld für den Sondenelektronenstrahl zwischen der ersten Strahlröhre 8 und der Verzögerungselektrode 10 durch Anlegen eines ersten Potentials an die erste Strahlröhre 8 bildet; und einen ersten Bewegungsmechanismus 11, der eine Position der ersten Strahlröhre 8 bewegt.

公开(公告)号：DE112016006884T5

公开(公告)日：2019-02-14

申请号：DE112016006884

申请日：2016-06-23

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： NAKAMURA MITSUHIRO ,  ITABASHI HIRONORI ,  SATOU HIROFUMI ,  SAITO TSUTOMU ,  SASAJIMA MASAHIRO ,  TSUNO NATSUKI ,  NAKAMURA YOHEI

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/075 ,  H01J37/252

Abstract: Um eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung zu schaffen, die Sekundärteilchen und elektromagnetische Wellen auch für eine nichtleitfähige Probe in einer Hochvakuumumgebung stabil detektieren kann und eine hervorragende Beobachtung und Analyse ermöglichen kann, umfasst die Ladungsträgerstrahlvorrichtung eine Ladungsträgerkanone (12), Abtastablenker (17 und 18), die dazu ausgelegt sind, einen Ladungsträgerstrahl (20), der von der Ladungsträgerkanone (12) emittiert wird, auf eine Probe (21) abzulenken, Detektoren (40 und 41), die dazu ausgelegt sind, eine von außen in die Abtastablenker eingegebene Abtaststeuerspannung zu detektieren, eine Recheneinheit (42), die dazu ausgelegt ist, basierend auf der detektierten Abtaststeuerspannung Bestrahlungspixelkoordinaten für den Ladungsträgerstrahl zu berechnen; und einen Bestrahlungscontroller (45), der dazu ausgelegt ist, die Bestrahlung der Probe mit dem Ladungsträgerstrahl gemäß den Bestrahlungspixelkoordinaten zu steuern.

公开(公告)号：DE112018007498T5

公开(公告)日：2021-01-07

申请号：DE112018007498

申请日：2018-05-22

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： IMAI YUTA ,  SASAJIMA MASAHIRO ,  TAKAHOKO YOSHIHIRO

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/145 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: In einer Ladungsträgerstrahlvorrichtung, die ein optisches Verzögerungssystem enthält, werden eine Änderung eines elektrischen Verzögerungsfelds und eine Achsenverschiebung aufgrund einer Struktur zwischen einer Objektivlinse und einer Probe verhindert, um nachteilige Wirkungen auf ein Bestrahlungssystem und ein Detektionssystem zu verringern. Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung enthält eine Elektronenquelle, eine Objektivlinse, die konfiguriert ist, einen Sondenelektronenstrahl von der Elektronenquelle auf die Probe zu fokussieren, eine Beschleunigungselektrode, die konfiguriert ist, den Sondenelektronenstrahl zu beschleunigen, einen ersten Detektor, der in der Beschleunigungselektrode vorgesehen ist, eine Verzögerungselektrode, die konfiguriert ist, ein elektrisches Verzögerungsfeld für den Sondenelektronenstrahl mit der Beschleunigungselektrode zu bilden, wobei der Sondenelektronenstrahl konfiguriert ist, durch eine Öffnung der Verzögerungselektrode zu verlaufen, und einen zweiten Detektor, der zwischen der Verzögerungselektrode und der Probe eingesetzt ist. Der zweite Detektor enthält einen Öffnungsabschnitt, der größer als die Öffnung der Verzögerungselektrode ist, und eine Erfassungsfläche, die um den Öffnungsabschnitt vorgesehen ist.

公开(公告)号：DE112017008147T5

公开(公告)日：2020-09-10

申请号：DE112017008147

申请日：2017-11-27

Applicant: HITACHI HIGH-TECH CORP

Inventor： TAKAGUCHI KATSURA ,  TSUNO NATSUKI ,  SASAJIMA MASAHIRO ,  AGEMURA TOSHIHIDE

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/22

Abstract: Eine Vorrichtung für einen Strahl geladener Teilchen enthält: eine Quelle 16 zur Erzeugung elektromagnetischer Wellen, die eine elektromagnetische Welle, mit der eine Probe bestrahlt wird, erzeugt; ein optisches System für geladene Teilchen, das einen Pulsmechanismus 3 enthält und die Probe mit einem fokussierten Strahl geladener Teilchen bestrahlt; einen Detektor 10, der ein emittiertes Elektron, das durch eine Wechselwirkung zwischen dem Strahl geladener Teilchen und der Probe emittiert wird, detektiert; eine erste Bestrahlungssteuereinheit 15, die die Quelle zur Erzeugung elektromagnetischer Wellen steuert und die Probe mit einer gepulsten elektromagnetischen Welle bestrahlt, um einen angeregten Träger zu erzeugen; eine zweite Bestrahlungssteuereinheit 14, die den Pulsmechanismus steuert und einen Elektromagnetische-Wellen-Bestrahlungsbereich der Probe mit einem gepulsten Strahl geladener Teilchen bestrahlt; und eine Zeitablaufsteuereinheit 13. Während die emittierten Elektronen durch den Detektor synchron zu der Bestrahlung des gepulsten Strahls geladener Teilchen detektiert werden, steuert die Zeitablaufsteuereinheit die erste Bestrahlungssteuereinheit und die zweite Bestrahlungssteuereinheit und steuert eine Intervallzeit zwischen der gepulsten elektromagnetischen Welle und dem gepulsten Strahl geladener Teilchen zu dem

公开(公告)号：DE112018007498B4

公开(公告)日：2024-11-28

申请号：DE112018007498

申请日：2018-05-22

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： IMAI YUTA ,  SASAJIMA MASAHIRO ,  TAKAHOKO YOSHIHIRO

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/12 ,  H01J37/145 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: Ladungsträgerstrahlvorrichtung, die Folgendes umfasst:eine Elektronenquelle (2);eine Objektivlinse (4), die konfiguriert ist, einen Sondenelektronenstrahl von der Elektronenquelle (2) auf eine Probe (12) zu fokussieren;eine Beschleunigungselektrode (3), die konfiguriert ist, den Sondenelektronenstrahl zu beschleunigen;einen ersten Detektor (6), der in der Beschleunigungselektrode (3) vorgesehen ist;eine Verzögerungselektrode (5), die konfiguriert ist, ein elektrisches Verzögerungsfeld für den Sondenelektronenstrahl mit der Beschleunigungselektrode (3) zu bilden, wobei der Sondenelektronenstrahl konfiguriert ist, durch eine Öffnung der Verzögerungselektrode (5) zu verlaufen; undeinen zweiten Detektor (7), der zwischen der Verzögerungselektrode (5) und der Probe (12) eingesetzt ist, wobeider zweite Detektor (7) einen Öffnungsabschnitt (9), der größer als die Öffnung der Verzögerungselektrode (5) ist, enthält und eine Erfassungsfläche (8) um den Öffnungsabschnitt (9) vorgesehen ist.

公开(公告)号：DE112014001777T5

公开(公告)日：2016-01-14

申请号：DE112014001777

申请日：2014-04-23

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： TAKAHOKO YOSHIHIRO ,  KOBAYASHI DAISUKE ,  KIMURA MASASHI ,  SASAJIMA MASAHIRO

IPC: H01J37/18

Abstract: Eine Evakuierungsstruktur einer mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung weist Folgendes auf: eine Vakuumkammer, die mit einer Quelle geladener Teilchen versehen ist, eine Vakuumrohrleitung, die mit der Vakuumkammer verbunden ist, eine Hauptvakuumpumpe, die über die Vakuumrohrleitung angeschlossen ist und das Innere der Vakuumkammer evakuiert, eine Getter-Pumpe mit einem nicht verdampfbaren Getter, die an einer Position zwischen der Vakuumkammer und der Hauptvakuumpumpe in der Vakuumrohrleitung angeordnet ist, und einen Grobevakuierungsanschluss, der an einer Position zwischen der Vakuumkammer und der Getter-Pumpe mit einem nicht verdampfbaren Getter in der Vakuumrohrleitung angeschlossen ist. Der Grobevakuierungsanschluss weist Folgendes auf: ein Grobevakuierungsventil, das den Grobevakuierungsanschluss öffnet und schließt, und ein Leckventil zum Öffnen der Vakuumkammer zur Atmosphäre.