公开(公告)号：DE102020211687A1

公开(公告)日：2021-03-25

申请号：DE102020211687

申请日：2020-09-17

Applicant: HITACHI HIGH TECH SCIENCE CORP

Inventor： KOYAMA YOSHIHIRO ,  ASAHATA TATSUYA ,  KIYOHARA MASAHIRO ,  YANG TSUNGHAN

IPC: H01J37/08 ,  H01J7/20 ,  H01J27/26 ,  H01J37/26 ,  H01J37/30

Abstract: Vorgesehen sind eine Flüssigmetallionenquelle, die in der Lage ist, einen Ionenstrahl über einen langen Zeitraum stabil zu emittieren, und eine Vorrichtung mit fokussiertem Ionenstrahl. Eine Flüssigmetallionenquelle (50) schließt ein: ein Reservoir (10), das so konfiguriert ist, um ein ein Flüssigmetall bildendes Ionenmaterial (M) aufzunehmen; eine Nadelelektrode (20) mit einer Oberfläche, die mit dem aus dem Reservoir zugeführten Ionenmaterial zu bedecken ist; eine Extraktionselektrode (22), die so konfiguriert ist, dass sie bewirkt, dass ein Ion des Ionenmaterials von einem distalen Ende der Nadelelektrode emittiert wird; eine Strahlblende (24), die auf einer stromabwärtigen Seite der Extraktionselektrode angeordnet und so konfiguriert ist, um einen Ionenstrahldurchmesser zu begrenzen; und eine Vakuumkammer (30), die so konfiguriert ist, um das Reservoir, die Nadelelektrode, die Extraktionselektrode und die Strahlblende aufzunehmen und im Vakuum zu halten, wobei die Flüssigmetallionenquelle ferner einen Einführungsabschnitt (40) für oxidierendes Gas aufweist, und wobei der Einführungsabschnitt für oxidierendes Gas mit der Vakuumkammer in Verbindung steht und so konfiguriert ist, um ein oxidierendes Gas in eine Peripherie der Nadelelektrode einzuführen.

公开(公告)号：EP2624279A4

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：EP11828920

申请日：2011-09-22

Applicant: HITACHI HIGH TECH SCIENCE CORP ,  JAPAN SCIENCE & TECH AGENCY ,  JSR CORP

Inventor： KOYAMA YOSHIHIRO ,  YASAKA ANTO ,  SHIMODA TATSUYA ,  MATSUKI YASUO ,  KAWAJIRI RYO

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01L21/02263 ,  C23C16/045 ,  C23C16/24 ,  C23C16/325 ,  C23C16/401 ,  C23C16/42 ,  C23C16/486 ,  C23C16/487 ,  C23C16/56 ,  H01J37/3178 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02631 ,  H01L21/28079 ,  H01L21/28211 ,  H01L22/20 ,  H01L29/66568 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00