公开(公告)号：BR9000720A

公开(公告)日：1991-01-22

申请号：BR9000720

申请日：1990-02-16

Applicant: HOECHST AG

Inventor： HIERHOLZER BERNHARD ,  HAAS RAIMUND ,  SPIESS WOLFGANG

IPC: B05C11/02 ,  B05D1/42 ,  B05D3/00 ,  B05D3/06 ,  B29C65/52 ,  B29L9/00 ,  B32B43/00 ,  H01L21/48 ,  H05K3/06 ,  H01L21/302

公开(公告)号：ZA901077B

公开(公告)日：1990-10-31

申请号：ZA901077

申请日：1990-02-13

Applicant: HOECHST AG

Inventor： HIERHOLTZER BERNARD ,  BERNARD HIERHOLTZER ,  HAAS RAIMUND ,  RAIMUND HAAS ,  SPIESS WOLFGANG ,  WOLFGANG SPIESS

IPC: B05C11/02 ,  B05D1/42 ,  B05D3/00 ,  B05D3/06 ,  B29C65/52 ,  B29L9/00 ,  B32B43/00 ,  H01L21/48 ,  H05K3/06 ,  B32B ,  B05C

公开(公告)号：FI900761A0

公开(公告)日：1990-02-15

申请号：FI900761

申请日：1990-02-15

Applicant: HOECHST AG

Inventor： HIERHOLZER BERNHARD ,  HAAS RAIMUND ,  SPIESS WOLFGANG

IPC: B05C11/02 ,  B05D1/42 ,  B05D3/00 ,  B05D3/06 ,  B29C65/52 ,  B29L9/00 ,  B32B43/00 ,  H01L21/48 ,  H05K3/06 ,  B32B

公开(公告)号：AU626635B2

公开(公告)日：1992-08-06

申请号：AU4978390

申请日：1990-02-14

Applicant: HOECHST AG

Inventor： HIERHOLZER BERNHARD ,  HAAS RAIMUND ,  SPIESS WOLFGANG

IPC: B05C11/02 ,  B05D1/42 ,  B05D3/00 ,  B05D3/06 ,  B29C65/52 ,  B29L9/00 ,  B32B43/00 ,  H01L21/48 ,  H05K3/06 ,  B32B31/22 ,  B05D5/08

公开(公告)号：ZA9001077B

公开(公告)日：1990-10-31

申请号：ZA9001077

申请日：1990-02-13

Applicant: HOECHST AG

Inventor： HIERHOLTZER BERNARD ,  BERNARD HIERHOLTZER ,  HAAS RAIMUND ,  RAIMUND HAAS ,  SPIESS WOLFGANG ,  WOLFGANG SPIESS

IPC: B05C11/02 ,  B05D1/42 ,  B05D3/00 ,  B05D3/06 ,  B29C65/52 ,  B29L9/00 ,  B32B43/00 ,  H01L21/48 ,  H05K3/06 ,  B32B ,  B05C

CPC classification number: H01L21/4842 ,  B05C11/028

公开(公告)号：CA2010219A1

公开(公告)日：1990-08-17

申请号：CA2010219

申请日：1990-02-16

Applicant: HOECHST AG

Inventor： HIERHOLZER BERNHARD ,  HAAS RAIMUND ,  SPIESS WOLFGANG

IPC: B05C11/02 ,  B05D1/42 ,  B05D3/00 ,  B05D3/06 ,  B29C65/52 ,  B29L9/00 ,  B32B43/00 ,  H01L21/48 ,  H05K3/06 ,  B32B31/06 ,  B32B31/20 ,  H01L21/56 ,  H01L23/31

Abstract: A process and an apparatus for the planarizing of rough, structured or heterogeneous surfaces with a leveling layer. A cover layer permeable to energy radiation is laminated by means of a film pressing device, which comprises a sliding shoe and a feed device, on to a substrate base bearing the surface to be planarized. During lamination, the contact zone between the film pressing device and the substrate base forms a tapering laminating nip, which is constantly supplied with the organic coating material forming a film or layer.