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公开(公告)号：CN110450009A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201910698525.X
申请日：2015-12-29
Applicant: HOYA株式会社
Abstract: 本发明提供基板的制造方法、基板端面的加工装置、基板端面的加工方法和磨削用磨石，该方法能够高品质地抛光圆板状基板的端面，能够进行稳定的磨削加工。本发明中，使磨削液与圆板状基板的端面部分接触，使磨石与其外周侧端面接触并相对移动，对基板端面进行磨削加工。上述磨石形成为圆筒状，并且在其内周侧具有两个以上并列的槽形状，该两个以上的槽形状包括粗磨削加工用的槽和精密磨削加工用的槽。上述磨石具有抑制利用粗磨削加工用的槽进行磨削加工时产生的磨削屑移动至精密磨削加工用的槽中的单元。并且，使基板的外周侧端面依次与上述磨石的粗磨削加工用的槽和精密磨削加工用的槽接触，对基板的外周侧端面进行磨削加工。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110450009B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN201910698525.X
申请日：2015-12-29
Applicant: HOYA株式会社
Abstract: 本发明提供基板的制造方法、基板端面的加工装置、基板端面的加工方法和磨削用磨石，该方法能够高品质地抛光圆板状基板的端面，能够进行稳定的磨削加工。本发明中，使磨削液与圆板状基板的端面部分接触，使磨石与其外周侧端面接触并相对移动，对基板端面进行磨削加工。上述磨石形成为圆筒状，并且在其内周侧具有两个以上并列的槽形状，该两个以上的槽形状包括粗磨削加工用的槽和精密磨削加工用的槽。上述磨石具有抑制利用粗磨削加工用的槽进行磨削加工时产生的磨削屑移动至精密磨削加工用的槽中的单元。并且，使基板的外周侧端面依次与上述磨石的粗磨削加工用的槽和精密磨削加工用的槽接触，对基板的外周侧端面进行磨削加工。
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公开(公告)号：CN105164753B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201480024099.7
申请日：2014-06-27
Applicant: HOYA株式会社
CPC classification number: G11B5/8404 , C03C3/087
Abstract: 在圆盘状玻璃基板的端面磨削处理中，使旋转的磨削磨石的旋转轴相对于与基板的主表面垂直的轴倾斜地对玻璃基板的一对倒角面同时进行磨削。磨削磨石是具有槽形状的磨石，该槽形状具有对玻璃基板的倒角面进行磨削的一对倒角面磨削区域。此时，一对倒角面磨削区域由以位于连接玻璃基板的中心与磨削磨石的旋转轴的直线上的玻璃基板与磨削磨石的切点为基准，在磨削磨石的旋转方向的前侧与玻璃基板的倒角面接触的倒角面磨削区域(A)和在磨削磨石的旋转方向的后侧与玻璃基板的倒角面接触的倒角面磨削区域(B)构成，倒角面磨削区域(A)的开口角小于倒角面磨削区域(B)的开口角。
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公开(公告)号：CN107004431B
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201580063043.7
申请日：2015-12-29
Applicant: HOYA株式会社
Abstract: 本发明提供一种磁盘用基板的制造方法，该方法能够高品质地抛光圆板状基板的端面，能够进行稳定的磨削加工。本发明中，使磨削液与圆板状基板的端面部分接触，使磨石与其外周侧端面接触并相对移动，对基板端面进行磨削加工。上述磨石形成为圆筒状，并且在其内周侧具有两个以上并列的槽形状，该两个以上的槽形状包括粗磨削加工用的槽和精密磨削加工用的槽。上述磨石具有抑制利用粗磨削加工用的槽进行磨削加工时产生的磨削屑移动至精密磨削加工用的槽中的单元。并且，使基板的外周侧端面依次与上述磨石的粗磨削加工用的槽和精密磨削加工用的槽接触，对基板的外周侧端面进行磨削加工。
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公开(公告)号：CN107004431A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580063043.7
申请日：2015-12-29
Applicant: HOYA株式会社
Abstract: 本发明提供一种磁盘用基板的制造方法，该方法能够高品质地抛光圆板状基板的端面，能够进行稳定的磨削加工。本发明中，使磨削液与圆板状基板的端面部分接触，使磨石与其外周侧端面接触并相对移动，对基板端面进行磨削加工。上述磨石形成为圆筒状，并且在其内周侧具有两个以上并列的槽形状，该两个以上的槽形状包括粗磨削加工用的槽和精密磨削加工用的槽。上述磨石具有抑制利用粗磨削加工用的槽进行磨削加工时产生的磨削屑移动至精密磨削加工用的槽中的单元。并且，使基板的外周侧端面依次与上述磨石的粗磨削加工用的槽和精密磨削加工用的槽接触，对基板的外周侧端面进行磨削加工。
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公开(公告)号：CN105164753A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201480024099.7
申请日：2014-06-27
Applicant: HOYA株式会社
CPC classification number: G11B5/8404 , C03C3/087
Abstract: 在圆盘状玻璃基板的端面磨削处理中，使旋转的磨削磨石的旋转轴相对于与基板的主表面垂直的轴倾斜地对玻璃基板的一对倒角面同时进行磨削。磨削磨石是具有槽形状的磨石，该槽形状具有对玻璃基板的倒角面进行磨削的一对倒角面磨削区域。此时，一对倒角面磨削区域由以位于连接玻璃基板的中心与磨削磨石的旋转轴的直线上的玻璃基板与磨削磨石的切点为基准，在磨削磨石的旋转方向的前侧与玻璃基板的倒角面接触的倒角面磨削区域(A)和在磨削磨石的旋转方向的后侧与玻璃基板的倒角面接触的倒角面磨削区域(B)构成，倒角面磨削区域(A)的开口角小于倒角面磨削区域(B)的开口角。
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