公开(公告)号：DE102012222032B4

公开(公告)日：2019-06-06

申请号：DE102012222032

申请日：2012-12-03

Applicant: IBM

Inventor： AFZALI-ARDANKANI ALI ,  CHANDRA BHUPESH ,  TULEVSKI GEORGE

IPC: C01B32/00 ,  H01L29/78

Abstract: Verfahren zur chemischen Oxidation von Kohlenstoff-Nanoröhrchen (CNT) oder von Graphen, aufweisend das Kombinieren eines Ce(IV)-Salzes, welches in einem Lösungsmittel gelöst ist, das Wasser aufweist, mit einem Kohlenstoffmaterial, das Kohlenstoff-Nanoröhrchen oder Graphen aufweist, wobei das Ce(IV)-Salz ein Ce(IV)-Ammoniumsalz einer Stickstoffsauerstoffsäure ist, wobei das Verfahren für eine Zeitperiode und bei einer Temperatur und Lösungskonzentration durchgeführt wird, die ausreichen, um das Kohlenstoffmaterial im Wesentlichen zu oxidieren, um ein oxidiertes Material herzustellen, welches im Wesentlichen nicht leitend ist, und nach der Oxidation das Ce(IV)-Salz im Wesentlichen von dem oxidierten Material durch Waschen mit deionisierten Wasser (DI Wasser) entfernt wird.

公开(公告)号：DE102012222032A1

公开(公告)日：2013-06-20

申请号：DE102012222032

申请日：2012-12-03

Applicant: IBM

Inventor： AFZALI-ARDANKANI ALI ,  CHANDRA BHUPESH ,  TULEVSKI GEORGE

IPC: C01B31/00 ,  H01L29/78

Abstract: Ein Verfahren weist das Kombinieren eines Ce(IV)-Salzes mit einem Kohlenstoffmaterial auf, das CNT oder Graphen aufweist, wobei das Ce(IV)-Salz aus einem Ce(IV)-Ammoniumsalz einer Stickstoffsauerstoffsäure ausgewählt wird und in einem Lösungsmittel gelöst wird, das Wasser aufweist. Das Verfahren wird für eine Zeitperiode und bei einer Temperatur und Lösungskonzentration durchgeführt, die ausreichen, um das Kohlenstoffmaterial im Wesentlichen zu oxidieren, um ein oxidiertes Material herzustellen, welches im Wesentlichen nicht leitend ist. Nach der Oxidation wird das Ce(IV) im Wesentlichen von dem oxidierten Material entfernt. Hierdurch wird ein durch das Verfahren hergestelltes Produkt erzeugt. Ein Herstellungsgegenstand weist das Produkt auf einem Substrat auf. Das oxidierte Material kann als eine Struktur auf dem Substrat ausgebildet sein. In einer anderen Ausführungsform weist das Substrat eine elektronische Einheit auf, wobei das oxidierte Material nicht leitfähige Bereiche strukturiert, die von leitfähigen Bereichen des nicht oxidierten Kohlenstoffmaterials getrennt sind, wobei die leitfähigen Bereiche mit der Einheit operativ verbunden sind.

公开(公告)号：DE102012222032A8

公开(公告)日：2013-08-29

申请号：DE102012222032

申请日：2012-12-03

Applicant: IBM

Inventor： AFZALI-ARDANKANI ALI ,  CHANDRA BHUPESH ,  TULEVSKI GEORGE

IPC: C01B31/00 ,  H01L29/78