公开(公告)号：ZA752593B

公开(公告)日：1976-11-24

申请号：ZA752593

申请日：1975-04-22

Applicant: IBM

Inventor： FENG BAI-CWO ,  BAI-CWO FENG

IPC: G03F1/08 ,  C23F1/00 ,  G03F1/00 ,  G03F7/16 ,  G03F7/26 ,  H01L21/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/32 ,  H01L21/76 ,  H01L21/762 ,  H01L23/29 ,  H05K3/46 ,  H01L

公开(公告)号：ZA7502593B

公开(公告)日：1976-11-24

申请号：ZA7502593

申请日：1975-04-22

Applicant: IBM

Inventor： FENG BAI-CWO ,  BAI-CWO FENG

IPC: G03F1/08 ,  C23F1/00 ,  G03F1/00 ,  G03F7/16 ,  G03F7/26 ,  H01L21/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/32 ,  H01L21/76 ,  H01L21/762 ,  H01L23/29 ,  H05K3/46 ,  H01L

CPC classification number: H01L23/29 ,  G03F7/16 ,  H01L21/00 ,  H01L21/31055 ,  H01L21/31056 ,  H01L21/31058 ,  H01L21/32 ,  H01L21/76229 ,  H01L23/291 ,  H01L2924/0002 ,  Y10S148/051 ,  Y10S148/085 ,  Y10S148/105 ,  Y10S148/131 ,  H01L2924/00