公开(公告)号：JPS54121114A

公开(公告)日：1979-09-20

申请号：JP1511679

申请日：1979-02-14

Applicant: IBM

Inventor： BENJIYAMIN JIYON KIYANABERO ,  MAIKURU HATSUZAKISU ,  JIEEN MAAGARETSUTO SHIYOU

IPC: G03C1/72 ,  G03F7/00 ,  G03F7/022 ,  G03F7/30 ,  G03F7/32 ,  G03F7/38 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：JPS5688321A

公开(公告)日：1981-07-17

申请号：JP14583280

申请日：1980-10-20

Applicant: IBM

Inventor： BENJIYAMIN JIYON KIYANABERO ,  MAIKERU HATSUZAKISU

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/40