公开(公告)号：DE3750408T2

公开(公告)日：1995-03-30

申请号：DE3750408

申请日：1987-05-12

Applicant: IBM

Inventor： DUERIG URS THEODOR DR ,  ROHRER HEINRICH DR ,  BINNIG GERD KARL PROF DR

IPC: G01B7/34 ,  G01B11/30 ,  G01B21/30 ,  G01D5/26 ,  G01L1/08 ,  G01N23/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q20/02 ,  G01Q60/38 ,  G01R33/038 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  G11B11/00 ,  G11B11/10 ,  G11B17/32 ,  G11B11/08

公开(公告)号：DE3750408D1

公开(公告)日：1994-09-22

申请号：DE3750408

申请日：1987-05-12

Applicant: IBM

Inventor： DUERIG URS THEODOR DR ,  ROHRER HEINRICH DR ,  BINNIG GERD KARL PROF DR

IPC: G01B7/34 ,  G01B11/30 ,  G01B21/30 ,  G01D5/26 ,  G01L1/08 ,  G01N23/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q20/02 ,  G01Q60/38 ,  G01R33/038 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  G11B11/00 ,  G11B11/10 ,  G11B17/32 ,  G11B11/08