公开(公告)号：US3238062A

公开(公告)日：1966-03-01

申请号：US18919262

申请日：1962-04-20

Applicant: IBM

Inventor： BRIAN SUNNERS ,  MONES ARTHUR H ,  GUIDO GALLI

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/00

公开(公告)号：US3248261A

公开(公告)日：1966-04-26

申请号：US21730362

申请日：1962-08-16

Applicant: IBM

Inventor： BERNT NARKEN ,  BRIAN SUNNERS

IPC: C03C8/00 ,  G03G5/085

CPC classification number: C03C8/00 ,  G03G5/085 ,  Y10S430/136

公开(公告)号：CH483078A

公开(公告)日：1969-12-15

申请号：CH411469

申请日：1969-03-19

Applicant: IBM

Inventor： LEON ISRAEL MAISSEL ,  BERNT NARKEN ,  BRIAN SUNNERS

IPC: C23C14/35 ,  G03G5/153 ,  G11B5/72 ,  H01F41/18 ,  H01J37/34 ,  C23C15/00

公开(公告)号：CH481464A

公开(公告)日：1969-11-15

申请号：CH370569

申请日：1969-03-13

Applicant: IBM

Inventor： LEON ISRAEL MAISSEL ,  BERNT NARKEN ,  BRIAN SUNNERS

IPC: C23C14/35 ,  G03G5/153 ,  G11B5/72 ,  H01F41/18 ,  H01J37/34 ,  H01C7/08 ,  C23C15/00