公开(公告)号：ZA7701835B

公开(公告)日：1978-11-29

申请号：ZA7701835

申请日：1977-03-28

Applicant: IBM

Inventor： BARILE C ,  BRILL R ,  REGH J ,  FORNERIS J

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/033 ,  H01L21/22 ,  H01L21/223 ,  H01L21/265 ,  H01L21/266 ,  H01L21/331 ,  H01L29/73

CPC classification number: H01L21/033 ,  H01L21/223 ,  H01L21/266 ,  Y10S148/131 ,  Y10S148/143 ,  Y10S438/965

公开(公告)号：ZA771835B

公开(公告)日：1978-11-29

申请号：ZA771835

申请日：1977-03-28

Applicant: IBM

Inventor： BARILE C ,  BRILL R ,  REGH J ,  FORNERIS J

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/033 ,  H01L21/22 ,  H01L21/223 ,  H01L21/265 ,  H01L21/266 ,  H01L21/331 ,  H01L29/73