公开(公告)号：DE112015000711T5

公开(公告)日：2016-11-03

申请号：DE112015000711

申请日：2015-02-13

Applicant: IBM

Inventor： BUERGE MARCEL ,  DELAMARCHE EMMANUEL ,  KAIGALA GOVIND ,  LOVCHIK ROBERT

IPC: B01J19/00

Abstract: Ein Verfahren zum Fertigen von Mikrofluidik-Sondenköpfen (100) wird bereitgestellt, wobei das Verfahren aufweist: Bereitstellen (S16) eines Satzes von n Layouts (14) von Mikrofluidik-Sondenköpfen auf einem selben zweischichtigen Substrat (10, 10a), das zwei Schichten (11, 12) aufweist, wobei die Layouts ringförmig auf diesem zweischichtigen Substrat verteilt sind und wobei jedes der Layouts aufweist: eine erste Schicht (110), die einem Abschnitt einer (11) der beiden Schichten (11, 12) des zweischichtigen Substrats entspricht; und eine zweite Schicht (120), die einem Abschnitt einer anderen (12) der beiden Schichten (11, 12) des zweischichtigen Substrats entspricht; und zumindest einen Mikrokanal (123, 124) aufweist, der durch eine Nut definiert wird, die auf einer oberen Fläche (120u) der zweiten Schicht (120) geöffnet ist und durch einen Abschnitt einer unteren Fläche (110l) der ersten Schicht (110) verschlossen ist; Herausarbeiten (S20) eines Lochs (16) im Wesentlichen in der Mitte des zweischichtigen Substrats (10) so, dass eine Zylinderwand (18) hergestellt wird, die das Loch begrenzt und jeden des zumindest einen Mikrokanals der Layouts (14) unterbricht, sodass sich der zumindest eine Mikrokanal (123, 124) jedes der Layouts bis zu zumindest einer jeweiligen Öffnung (121, 122) erstreckt, die an einem Ende der Nut auf der Ebene der Zylinderwand (18) ausgebildet ist; und schließlich Vereinzeln (S30) jedes der n Layouts so, dass n Mikrofluidik-Sondenköpfe (100) gewonnen werden. Des Weiteren werden MFP-Köpfe bereitgestellt, die dementsprechend gewonnen werden.

公开(公告)号：GB2523825A

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：GB201404041

申请日：2014-03-07

Applicant: IBM

Inventor： BUERGE MARCEL ,  DELAMARCHE EMMANUEL ,  KAIGALA GOVIND ,  LOVCHIK ROBERT

IPC: B01L3/00

Abstract: A method of fabrication of microfluidic probe (MFP) heads 100 comprises providing a set of n probe head layouts 14 on a bilayer substrate 10 which comprises a first layer 11 and a second layer 12 wherein the layouts are annularly distributed on the substrate and each layout comprises at least one micro-channel 123, 124 defined by an open groove on an upper surface 120u of the second layer 12 and closed by a portion of a lower surface 110l of the first layer 110, machining a hole 16 substantially at the centre of the substrate to create a cylinder wall 18 that intercepts each of the micro-channels such that at least one the micro-channels of each layout extends up to at least one respective aperture 121, 122 formed at an end of the groove at the level of the cylinder wall 18, and separating the layouts to obtain n MFP heads. Prior to machining the hole, the micro-channels maybe filled with a removable malleable material such as a wax or photoresist material which protects the micro-channel from debris during cutting. The cylinder wall may be polished before dividing the layouts.