公开(公告)号：AU3883878A

公开(公告)日：1980-02-14

申请号：AU3883878

申请日：1978-08-11

Applicant: IBM

Inventor： CAROTHERS JAMES ALBERT ,  ECONOMY JAMES ,  OUANO AUGUSTUS CENIZA

IPC: H01L21/30 ,  G03C1/72 ,  G03F7/022 ,  G03F7/30 ,  G03F7/32 ,  H01L21/027 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H05K3/06 ,  G03C1/54 ,  G03F7/10

公开(公告)号：DE2860333D1

公开(公告)日：1981-03-12

申请号：DE2860333

申请日：1978-10-13

Applicant: IBM

Inventor： CAROTHERS JAMES ALBERT ,  ECONOMY JAMES ,  OUANO AUGUSTUS CENIZA

IPC: H01L21/30 ,  G03C1/72 ,  G03F7/022 ,  G03F7/30 ,  G03F7/32 ,  H01L21/027 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H05K3/06 ,  G03F7/08