公开(公告)号：JPS60171726A

公开(公告)日：1985-09-05

申请号：JP24354684

申请日：1984-11-20

Applicant: IBM

Inventor： CHIEN II RIU

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  G03F7/38 ,  H01L21/027 ,  H05K3/00

公开(公告)号：JPS5686966A

公开(公告)日：1981-07-15

申请号：JP14583580

申请日：1980-10-20

Applicant: IBM

Inventor： JIEEMUZU EKONOMII ,  MEARII AN FURANDERA ,  CHIEN II RIU

IPC: C08F38/00 ,  B05D3/10 ,  C09D4/00 ,  C09D123/26 ,  C09D137/00