公开(公告)号：DE69105334D1

公开(公告)日：1995-01-12

申请号：DE69105334

申请日：1991-03-01

Applicant: IBM

Inventor： CHU CHRISTOPHER MARTIN ,  DHONG SANG H ,  HWANG WEI ,  LU NICKY C C

IPC: H01L27/10 ,  G11C11/401 ,  G11C11/4097 ,  H01L21/8242 ,  H01L27/108 ,  G11C11/409

公开(公告)号：DE69105334T2

公开(公告)日：1995-05-24

申请号：DE69105334

申请日：1991-03-01

Applicant: IBM

Inventor： CHU CHRISTOPHER MARTIN ,  DHONG SANG H ,  HWANG WEI ,  LU NICKY C C

IPC: H01L27/10 ,  G11C11/401 ,  G11C11/4097 ,  H01L21/8242 ,  H01L27/108 ,  G11C11/409