公开(公告)号：JPH0860400A

公开(公告)日：1996-03-05

申请号：JP13774395

申请日：1995-06-05

Applicant: IBM

Inventor： DENISU JIYON BUROFUII ,  MADOHABU DATSUTA ,  DEREKU BURENTO HARISU ,  MASHIYUU TOOMASU KAAJIIRU ,  FURANKU SABUEIJI RAIAN

IPC: C25F3/14 ,  G03F1/20 ,  G03F1/68 ,  H01L21/3063 ,  H01L21/308

公开(公告)号：JPH083794A

公开(公告)日：1996-01-09

申请号：JP13626695

申请日：1995-06-02

Applicant: IBM

Inventor： DENISU JIYON BUROFUII ,  MADABU DATSUTA ,  DEREKU BURENTO HARISU ,  FURANKU SABUIJI RAIAN ,  FURANKU ANSONII SUPERA

IPC: C25F3/14 ,  C25F7/00 ,  H05K3/07