公开(公告)号：DE3886751T2

公开(公告)日：1994-06-23

申请号：DE3886751

申请日：1988-09-12

Applicant: IBM

Inventor： BUCHMANN PETER DR ,  DIETRICH HANS-PETER ,  VETTIGER PETER

IPC: H01L21/302 ,  G03F7/00 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/308 ,  H01S3/08 ,  H01S5/00 ,  H01S5/02 ,  H01S5/028 ,  H01S5/10 ,  H01L21/306 ,  G03F7/004 ,  H01L21/00

公开(公告)号：DE3886751D1

公开(公告)日：1994-02-10

申请号：DE3886751

申请日：1988-09-12

Applicant: IBM

Inventor： BUCHMANN PETER DR ,  DIETRICH HANS-PETER ,  VETTIGER PETER

IPC: H01L21/302 ,  G03F7/00 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/308 ,  H01S3/08 ,  H01S5/00 ,  H01S5/02 ,  H01S5/028 ,  H01S5/10 ,  H01L21/306 ,  G03F7/004 ,  H01L21/00