公开(公告)号：DE3887849T2

公开(公告)日：1994-08-11

申请号：DE3887849

申请日：1988-11-22

Applicant: IBM

Inventor： DIETSCH HANS ERICH ,  NESTORK WILLIAM JOHN

IPC: H01L21/60 ,  H01L21/00 ,  H01L23/32 ,  H01L23/50 ,  H01L23/42

公开(公告)号：DE3887849D1

公开(公告)日：1994-03-24

申请号：DE3887849

申请日：1988-11-22

Applicant: IBM

Inventor： DIETSCH HANS ERICH ,  NESTORK WILLIAM JOHN

IPC: H01L21/60 ,  H01L21/00 ,  H01L23/32 ,  H01L23/50 ,  H01L23/42