公开(公告)号：DE3782558T2

公开(公告)日：1993-04-22

申请号：DE3782558

申请日：1987-05-22

Applicant: IBM

Inventor： CHAKRAVARTI SATYA NARAYAN ,  FONASH STEPHEN JOSEPH ,  MU XIAO-CHUN

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/311 ,  H01L21/322 ,  H01L21/306

公开(公告)号：DE3782558D1

公开(公告)日：1992-12-17

申请号：DE3782558

申请日：1987-05-22

Applicant: IBM

Inventor： CHAKRAVARTI SATYA NARAYAN ,  FONASH STEPHEN JOSEPH ,  MU XIAO-CHUN

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/311 ,  H01L21/322 ,  H01L21/306