公开(公告)号：DE69416204T2

公开(公告)日：1999-09-02

申请号：DE69416204

申请日：1994-05-06

Applicant: IBM

Inventor： BAUER TIBOR LOUIS ,  DART II CHARLES RICHARD ,  LINNELL DAVID CLYDE ,  CAVALIERE WILLIAM ALBERT ,  FREEBERN TIMOTHY HARRISON ,  MILLER JAMES M ,  WU JIN JWANG

IPC: B24C1/00 ,  B24C5/04 ,  H01L21/00

公开(公告)号：DE69416204D1

公开(公告)日：1999-03-11

申请号：DE69416204

申请日：1994-05-06

Applicant: IBM

Inventor： BAUER TIBOR LOUIS ,  DART II CHARLES RICHARD ,  LINNELL DAVID CLYDE ,  CAVALIERE WILLIAM ALBERT ,  FREEBERN TIMOTHY HARRISON ,  MILLER JAMES M ,  WU JIN JWANG

IPC: B24C1/00 ,  B24C5/04 ,  H01L21/00