公开(公告)号：DE69124411D1

公开(公告)日：1997-03-13

申请号：DE69124411

申请日：1991-03-23

Applicant: IBM

Inventor： CUOMO JEROME J ,  GARZIOSO MICHAEL V ,  GUARNIERI CHARLES R ,  HALLER KURT L

IPC: H01L21/302 ,  C23C14/56 ,  C23C16/44 ,  C23C16/511 ,  C23F4/00 ,  H01J37/32 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/683

公开(公告)号：DE69124411T2

公开(公告)日：1997-07-17

申请号：DE69124411

申请日：1991-03-23

Applicant: IBM

Inventor： CUOMO JEROME J ,  GARZIOSO MICHAEL V ,  GUARNIERI CHARLES R ,  HALLER KURT L

IPC: H01L21/302 ,  C23C14/56 ,  C23C16/44 ,  C23C16/511 ,  C23F4/00 ,  H01J37/32 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/683