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公开(公告)号：SE322300B
公开(公告)日：1970-04-06
申请号：SE1583164
申请日：1964-12-30
Applicant: IBM
Inventor： HAERING R , MILLER P
IPC: H01L33/00 , H01S5/30 , H01S5/32 , H01S3/18
公开(公告)号：SE330739B
公开(公告)日：1970-11-30
申请号：SE1192163
申请日：1963-10-30
Inventor： DUMKE W , HAERING R
IPC: H01S5/32 , H01S3/18
