公开(公告)号：DE1619969A1

公开(公告)日：1971-03-18

申请号：DE1619969

申请日：1967-06-30

Applicant: IBM

Inventor： BALK PIETER ,  YU NIEN ,  HAYES DILL FREDERICK

IPC: C30B31/18 ,  H01L21/00 ,  H01L21/316 ,  B01J17/34

公开(公告)号：DE1464711A1

公开(公告)日：1969-05-14

申请号：DE1464711

申请日：1963-10-25

Applicant: IBM

Inventor： HAYES DILL FREDERICK ,  PAUL DUMKE WILLIAM ,  JEWETT LASHER GORDON ,  IRA NATHAN MARSHALL

IPC: H01S5/30 ,  H01S5/32