公开(公告)号：JPS614278A

公开(公告)日：1986-01-10

申请号：JP2214585

申请日：1985-02-08

Applicant: IBM

Inventor： TOOMASU NERUSON JIYAKUSON ,  PIITAA DANIERU KAAKUNAA ,  JIYOOJI DEEBITSUDO PETEITSUTO ,  JIERII MATSUKU FUAASON UTSUDOO

IPC: H01L29/41 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  H01L29/43 ,  H01L29/45

公开(公告)号：JPS6118156A

公开(公告)日：1986-01-27

申请号：JP8151785

申请日：1985-04-18

Applicant: Ibm

Inventor： GERUDO KAARU BININGU ,  RANDOORU MEINDAATO FUIINSUTORA ,  RODONII TOREBUAA HOJISON ,  HAINRITSUHI ROORAA ,  JIERII MATSUKU FUAASON UTSUDOO

IPC: H01L21/3205 ,  C23C16/04 ,  H01J37/317 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32 ,  C23C16/047 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/31738 ,  H01J2237/31759 ,  Y10S977/857