公开(公告)号：DE68907324T2

公开(公告)日：1994-01-20

申请号：DE68907324

申请日：1989-11-14

Applicant: IBM

Inventor： GLENNING JOHN J ,  JOHNSON CARYN J ,  PAWLOWSKI WALTER P ,  SAKORAFOS KENNETH G

IPC: G02F1/1337 ,  C08J7/12 ,  C08J7/14 ,  C09K13/02 ,  C09K13/04 ,  G03F7/32 ,  H01L21/311 ,  H05K1/03 ,  H05K3/00 ,  H05K3/40 ,  H01L21/90

公开(公告)号：DE68907324D1

公开(公告)日：1993-07-29

申请号：DE68907324

申请日：1989-11-14

Applicant: IBM

Inventor： GLENNING JOHN J ,  JOHNSON CARYN J ,  PAWLOWSKI WALTER P ,  SAKORAFOS KENNETH G

IPC: G02F1/1337 ,  C08J7/12 ,  C08J7/14 ,  C09K13/02 ,  C09K13/04 ,  G03F7/32 ,  H01L21/311 ,  H05K1/03 ,  H05K3/00 ,  H05K3/40 ,  H01L21/90