公开(公告)号：DE68908219T2

公开(公告)日：1994-03-17

申请号：DE68908219

申请日：1989-02-25

Applicant: IBM

Inventor： BATEY JOHN ,  JOSHI RAILY V

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/336 ,  H01L29/45 ,  H01L29/786

公开(公告)号：DE68908219D1

公开(公告)日：1993-09-16

申请号：DE68908219

申请日：1989-02-25

Applicant: IBM

Inventor： BATEY JOHN ,  JOSHI RAILY V

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/336 ,  H01L29/45 ,  H01L29/786