公开(公告)号：DE69524011T2

公开(公告)日：2002-08-01

申请号：DE69524011

申请日：1995-07-19

Applicant: IBM

Inventor： CANAPERI DONALD FRANCIS ,  JAGANNATHAN RANGARAJAN ,  KRISHNAN MAHADEVAIVER

IPC: C23C18/31 ,  C23C18/16 ,  C23C18/44 ,  C23C18/42

公开(公告)号：DE69524011D1

公开(公告)日：2002-01-03

申请号：DE69524011

申请日：1995-07-19

Applicant: IBM

Inventor： CANAPERI DONALD FRANCIS ,  JAGANNATHAN RANGARAJAN ,  KRISHNAN MAHADEVAIVER

IPC: C23C18/31 ,  C23C18/16 ,  C23C18/44 ,  C23C18/42