公开(公告)号：DE69734158D1

公开(公告)日：2005-10-13

申请号：DE69734158

申请日：1997-09-12

Applicant: IBM

Inventor： BEAMAN BRIAN SAMUEL ,  FOGEL KEITH EDARD ,  LAURO PAUL AFRED ,  LIAO YUN-HSIN ,  MORRIS PETER ,  SHIH DA-YUAN

IPC: G01R31/26 ,  G01R1/067 ,  G01R1/073 ,  G01R3/00 ,  H01L23/32

公开(公告)号：DE69734158T2

公开(公告)日：2006-06-22

申请号：DE69734158

申请日：1997-09-12

Applicant: IBM

Inventor： BEAMAN BRIAN SAMUEL ,  FOGEL KEITH EDARD ,  LAURO PAUL AFRED ,  LIAO YUN-HSIN ,  MORRIS PETER ,  SHIH DA-YUAN

IPC: G01R1/067 ,  G01R31/26 ,  G01R1/073 ,  G01R3/00 ,  H01L23/32